Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 #9195948 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Alliance A4 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. Alliance A4 verfügt über eine geschlossene Plattform für doppelseitiges Ätzen und Aschen und bietet eine schnelle, präzise Waferbearbeitung, die zuverlässig und kostengünstig ist. Das System ist so konzipiert, dass es präzise und wiederholbare Ergebnisse liefert. Es verfügt über eine Vierzonenätz- und Aschekammer mit eingebauten Prozess- und Leistungssensoren, um eine optimale Ätz- und Aschequalität zu gewährleisten. Die LAM RESEARCH Alliance A4 verfügt zudem über ein programmierbares Gasreaktionselement, mit dem verschiedene Gasrezepte während des Ätz-/Ascheprozesses verwendet werden können. Mit dieser Funktion können Anwender den Ätz-/Ascheprozess auf spezifische Anforderungen an die Konstruktion von Halbleiterbauelementen anpassen. Alliance A4 beinhaltet einen Roboterarm für zuverlässiges Wafer-Handling. Der Arm kann so programmiert werden, dass er Wafer schnell und präzise in die Kammer überführt und zwischen den Ätz-/Aschezonen bewegt. Das Gerät enthält auch einen integrierten 1-Mikron-Vakuumofen zur Unterstützung des Aschens. LAM RESEARCH Alliance A4 unterstützt eine Vielzahl von Ätz-/Ascheprozessen, einschließlich Nass- und Trockenbankätzen und Trockenaschen. Die Maschine ist auf die Kompatibilität mit Standard-Laborinstrumenten und Zubehör wie Linear- und Rotationsmotorstufen, Maskenreinigungssystemen und Maskenausrichtungssystemen ausgelegt. Darüber hinaus bietet das Tool Integration in spezielle Hardware wie Substratheizungen, Plasmaquellen und Partikeldetektoren. Das Asset verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. Das Modell bietet auch vollständige Rezepte und Rezepte Schrittbearbeitung, so dass es einfach, Rezepte anpassen Prozessanforderungen zu erfüllen. Alliance A4 unterstützt die Fernüberwachung und bietet Benutzern die Möglichkeit, Wafer-Verarbeitungsergebnisse in Echtzeit anzuzeigen und zu verfolgen. LAM RESEARCH Alliance A4 ist eine leistungsstarke Ätz-/Ascheausrüstung, die den Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. Mit seinem programmierbaren Gasreaktionselement, dem Roboterarm und der intuitiven Benutzeroberfläche bietet Alliance A4 ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug zum Ätzen und Aschen.
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