Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 4520 #293820037 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 4520 Etcher/Asher ist eine industrielle Ätz- und Ascheausrüstung für Halbleiterhersteller. Es ist eine hochpräzise, kostengünstige Maschine, die eine vielseitige Kombination von Kammergrößen mit unterschiedlichen Geometrien verwendet. Dies ermöglicht ein präzises Ätzen und Aschen verschiedener Substrate. Die Maschine bietet eine hervorragende Steuerbarkeit und Wiederholbarkeit durch die Kombination präziser Ätz-/Ascheparameter mit einer präzisen Gasflussregelung. Alliance A6 4520 verfügt über ein fortschrittliches digitales Steuerungssystem und ein dynamisches Kammerlayout, das bis zu 6 Substratgrößen von bis zu 8 Zoll Durchmesser aufnehmen kann. LAM RESEARCH Alliance A6 4520 ist mit einer integrierten Einheit der digitalen Elektronik konzipiert, die eine präzise und zuverlässige Plattform bietet, um eine maximale Ätz-/Ascheleistung zu gewährleisten. Die Maschine bietet hochbelastete, luft- und wassergekühlte Kondensatoren UND Thermoelemente sowie eine Vielzahl von Optionen zur Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses. Für eine verbesserte Prozesssteuerung kann die Maschine mit einem PID-Controller konfiguriert werden, um konstanten Strom und Temperatur einzustellen. Die einstellbare Pulsbreite von 0,5 bis 50 Millisekunden ermöglicht eine präzise Ätz-/Aschesteuerung, die mit anderen Ätz-/Aschesystemen nicht erreichbar ist. Außerdem bietet Alliance A6 4520 eine integrierte Lösung zur Gaszerlegung und -analyse mit einem revolutionären Vakuumspitzenerkennungswerkzeug. Diese Anlage bietet eine einzigartige Möglichkeit zur Überwachung des Ätz-/Ascheprozesses durch Detektion von Gasspitzen in der Prozesskammer, die eine schnellere und präzisere Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglichen. Das Modell ist zudem mit einem integrierten HF-Generator und Adsorber ausgestattet, der eine effiziente Lösung für eine effiziente Reinigung von Prozesskammeroberflächen bietet. Dieses All-in-One-Gerät wurde entwickelt, um Komplexität und Prozesskosten zu reduzieren und gleichzeitig höchste Ätz-/Aschequalität zu ermöglichen. LAM RESEARCH Alliance A6 4520 ist ein zuverlässiges und umfassendes System, das die präziseste Kontrolle über kritische Ätz-/Ascheparameter bietet. Es ist die ideale Ätz-/Ascheeinheit für Halbleiterhersteller und Forschungseinrichtungen.