Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX #9309385 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX ist ein Ätzer/Ascher, der in mehreren Waferbearbeitungsanwendungen in Halbleiter-, MEMS/MOEMS und Optik-Technologien eingesetzt werden kann. Die A6 9100 PTX wurde entwickelt, um saubereres Ätzen mit höherem Durchsatz und verbesserter Produktivität zu ermöglichen. Das System ist mit einer Hochgeschwindigkeits- und zuverlässigen Vorbehandlungskassette ausgestattet, die mehrere Filamentoptionen aufweist, wodurch Benutzer das Filamentzielmaterial und die Größe je nach Anwendung variieren können. Die A6 9100 PTX ist auch mit zwei (2) unabhängigen Ladeanschlüssen ausgestattet, um ein effizientes Be- und Entladen für eine größere Produktion zu ermöglichen. Die flexible Architektur der A6 9100 PTX ermöglicht den Austausch mehrerer Prozesstechnologien mit bis zu zwei (2) Kammern, die zum Ätzen oder zum Aschen konfiguriert werden können. Das PTX-System A6 9100 kann mit bis zu 3 Substraten zum Ätzen und Aschen beladen werden, wobei die Substratgröße von 200mm bis 300mm reicht. Die Autocenter-Fähigkeit des A6 9100 PTX sorgt für die präzise Ausrichtung von Substraten auf Substrathalter und reduziert so das Potenzial für Zentrierabweichungsfehler. Darüber hinaus wurde die A6 9100 PTX entwickelt, um die Partikelbildung zu minimieren und ist ULPA mit mindestens 15 Atommasseneinheiten bei 0,3 Mikrometern bewertet. Der A6 9100 PTX integriert außerdem einen automatisierten Stickstoffwäscher von 100 Stunden, der langfristig eine konstante Ätzleistung ermöglicht. Zusätzlich kann die Ätztemperatur präzise gesteuert und auf +/- 2 ° C Genauigkeit gemessen werden. Die eingebettete Diagnosesoftware ermöglicht zudem eine äußerst präzise Prozesssteuerung und Validierung. Die A6 9100 PTX verfügt über eine integrierte Benutzeroberfläche zur Systemsteuerung und -überwachung, auf die direkt über das Tastenfeld der Maschine oder remote über einen Standard-Webbrowser zugegriffen werden kann. Mit der integrierten Benutzeroberfläche können Benutzer Druck, Masse, Temperatur und andere kritische Parameter des Ätz- und Ascheprozesses einfach überwachen. Die A6 9100 PTX beinhaltet auch eine komplette Rezepturbibliothek zum Ätzen verschiedener Materialien und Substrate mit optimierten Parametern zur Erzielung höchster Qualitätsergebnisse. Insgesamt ist Alliance A6 9100 PTX ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der unter Berücksichtigung von Flexibilität, Effizienz und Qualitätskontrolle aufgebaut ist. Die A6 9100 PTX ist in der Lage, bis zu 3 Substrate mit einem Größenbereich von 200mm - 300mm zu verarbeiten. Die integrierte Vorbehandlungskassette, die automatische Zentrierung und die umfassende Benutzeroberfläche machen es zu einem zuverlässigen und präzisen Werkzeug zum Ätzen und Auswerten.