Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM-P #9133861 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM-P ist ein Post-Etch-Plasmaascher, der einen Ätzprozess für verschiedene Anwendungen abschließen kann. Der Ascher ist eine zuverlässige, leistungsstarke Option für eine breite Palette von Halbleiterherstellern und verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen. Der A6 9400 verfügt über zwei unabhängige Hochfrequenz-HF-Quellen, die eine schnelle und qualitativ hochwertige Ätzung ermöglichen. Es verfügt über eine bewegliche Automatisierungsstrecke mit mehreren Be-/Entladeoptionen, die einen effizienten Durchsatz mit mehreren Substratgrößen und Ätzanforderungen ermöglicht. Der Kammerdruck ist einstellbar, so dass der Druckbereich genau an die jeweiligen Materialätzanforderungen angepasst werden kann. Zusätzlich weist der Ascher eine Niederdruck-HF-Vorreinigungsstufe auf, die eine verringerte Partikelverunreinigung im Nachätzen ermöglicht. Der A6 9400 verfügt zudem über ein Kältemittel auf der Rückseite, das ein gleichmäßiges Ätzen und schnellere Bearbeitungszeiten gewährleistet. Der A6 9400 DFM-P basiert auf der bewährten und zuverlässigen CXT-Plattform von LAM und gewährleistet erweiterte Funktionen und hohe Leistung. Die Ausrüstung kann mehrere Substratgrößen verarbeiten und ist in der Lage, Chargengleichförmigkeit über eine große Fläche mit überlegener Gleichmäßigkeit. Es ist mit intuitiven Software- und Hardwaresteuerungsfunktionen ausgestattet, einschließlich vollautomatischer Kammerbedienungen, verbesserter Diagnosefunktionen und Sicherheitsschutz. Darüber hinaus ermöglichen die verbesserten partikelinteraktiven Funktionen eine bessere Kontrolle und längere Laufzeiten, was zu einer erhöhten Prozess- und Produktivitätssteigerung führt. Neben seinen erweiterten Funktionen ist der A6 9400 DFM-P für eine einfache Wartung und Einrichtung ausgelegt. Die internen Teile sind über die eingebaute Servicetür leicht zugänglich und ermöglichen einen schnellen und einfachen Zugang zu den Gasleitungen, Ventilen und Sicherheitsverriegelungen. Das System verfügt auch über eine abnehmbare Türabdeckung für eine schnelle Einrichtung und Reinigung, die einen einfachen Zugang zu Ladekomponenten bietet. Die Einheit enthält eine Standard-Rezepttabelle, die das „Scripten“ aller Ätzparameter und Rezepte ermöglicht, was zu einer verbesserten Wiederholbarkeit führt. Der A6 9400 bietet zudem einen optionalen Sauerstoffsensor, der eine genaue und wiederholbare Prozesssteuerung gewährleistet. Insgesamt ist Alliance A6 9400 DFM-P ein leistungsfähiger, zuverlässiger und effizienter Plasmaascher nach der Ätzung. Die Maschine bietet fortschrittliche Funktionen für verbesserten Durchsatz, Partikelkontrolle und Präzisionsätzen für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit seinen intuitiven Bedienelementen, der hervorragenden Prozesswiederholbarkeit und der einfachen Wartung ist der Ascher ein ideales Werkzeug für jede Halbleiterproduktionslinie.