Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #121362 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM ist ein ideales Gerät zum Ätzen und Aschen verschiedener Substrate. Dieser Hochleistungs-Ätzer/Ascher bietet die Fähigkeit, bis zu neun 1000 mm x 400 mm Wafer auf einmal zu ätzen und zu aschen, mit einem 1800 W HF-Netzteil. Darüber hinaus verfügt es über ein 19-Zoll-Touchscreen-Display mit einer modernen, benutzerfreundlichen Oberfläche, die eine fortschrittliche Prozesssteuerung unterstützt. Das System verfügt über eine extra große Lade-/Entladeeinrichtung mit verstellbarem Arm, so dass Substrate präzise und einfach auf das Gerät aufgesetzt werden können. Es verfügt außerdem über ein leistungsstarkes HF-Matching-Netzwerk mit einstellbarer Anpassung, was eine hervorragende Ätzleistung auch bei hohen Frequenzen ermöglicht. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM ist mit der erweiterten DFM-Ätzfähigkeit (Dynamic Flow Mode) von LAM ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Seitenwandwinkel und der unteren Ätztiefe ermöglicht. Dies führt zu einem vollständigeren Ätzprofil mit reduzierter Verjüngung und weniger Überätzen. Dieser Ätzer/Ascher bietet auch eine ganze Reihe von gaschemischen Prozessen mit flexibler Gassequenzierung und Prozessprofilierungsoptionen ermöglichen eine ähnliche Leistung auf verschiedenen Substratmaterialien. Darüber hinaus sorgt das High-Flow-Duschkopf-Array für konsistente Gleichmäßigkeit des Ätzens. Die gekühlte Rezirkulationsprozesskammer des Geräts verfügt über eine volle Überdruckfähigkeit und ist somit ideal für Vakuumätz-/Ascheanwendungen geeignet. Zur weiteren Bequemlichkeit bietet Alliance A6 9400 DFM auch Fernüberwachung und Prozesssteuerung, so dass Benutzer das System fernverwalten und detaillierte Prozessberichte erhalten können. Die verbesserten Sicherheitsmerkmale machen es schließlich konform mit den neuesten Sicherheitsrichtlinien und CE-Kennzeichnungsvorschriften. ALLIANCE A6 9400DFM ist ein beeindruckender Ätzer/Ascher, der es Anwendern ermöglicht, zuverlässige und konsistente Ätz- und Ascheergebnisse mit fortschrittlicher Kontrolle und Präzision zu erzielen. Die Kombination aus leistungsstarken Funktionen, benutzerfreundlicher Oberfläche und Prozessfähigkeiten machen es zu einer guten Wahl für diejenigen, die eine Vielzahl von Substraten ätzen oder aschen möchten.