Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #198258 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 198258
Poly Etcher, 8"
(3) Chamber modules to include:
(1) Model 9400PTX
(2) Model 9400DFM
(3) LAM Enhanced Research Lab Gas Boxes
(1) Control Rack with Noah Precision Models PSC-8000 and PSC-4400 Modules
(2) Edwards Dry Pump Systems
Software: Envision
Platform: Alliance A6
Process: poly
Process modules: DFM
Gas box style: external orbital gas box individual door
Interface: front and rear
Main frame: though the wall bulkhead
Transport module spec:
Robot: Mag 7
End effector: standard stainless steel
Load lock: Brooks automatic
Station 6: Aligner
Process module 1:
Process: poly etch
Process module: DFM
Turbo: Edwards 1600 seiko seiki
Manometer: heated single 10 torr manometer
Vat valve: vat 65 heated
Rf match: standard TCP extended range match
Coil: standard 8" coil
Chuck: E-chuck standard bi-polar
Rf generator: Halo 1250
Endpoint: verity end point
No interferometer
Pump ballast Aov85: yes
Backside He manometers present
Gas lines: non heated
Process module 2
Process: poly etch
Process module: DFM
Turbo: Alcatel 1600m
Manometer: heated single 10 torr manometer
Vat valve: vat 65 heated
Rf match: standard tcp exteneded range match
Coil: standard 8" coil
Chuck: E-chuck standard bi-polar
Rf generator: Halo 1250
Endpoint: verity end point
No interferometer
Pump ballast Aov85: yes
Backside He manometers: present
Gas lines: non heated
Process module 3
Process: poly etch
Process module: DFM
Turbo: Alcatel 1600m
Manometer: heated single 10 torr manometer
Vat valve: vat 65 heated
Rf match: standard tcp exteneded range match
Coil: standard 8" coil
Chuck: E-chuck standard bi-polar
Rf generator: Halo 1250
Endpoint: verity end point
No interferometer
Pump ballast Aov85: yes
Backside He manometers: present
Gas lines: non heated
Pumps
Edwards IQDP 80/500
Chiller Noah solid state
Gas box
Mfc
Unit series with metal seals
Includes:
Gib options
STD Stacking kit
Gas box mounting location: remote
Quick clean kit
TCU hosing: 50ft
TCU configuration: Noah solid state
Operating temperature: 60 - 80c
Tm exhaust: upper
2002 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM ist ein branchenführender Ätzer/Ascher mit erweiterten Funktionen. Die Maschine ist für verschiedene Konfigurationen konzipiert und verfügt über eine überlegene Ausstattungsflexibilität mit zwei unabhängigen Prozessmodulen, die ein präzises Ätzen von Komponenten und Wafern mit hervorragender Wiederholbarkeit der Funktionen ermöglichen. Sein horizontales Abscheidewerkzeug mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeitskontrolle ist ein ideales Werkzeug zum präzisen Ätzen oder Aschen von Wafern bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM Ätzer/Ascher ist in der Lage, High-Speed-Wafer-Ätzen und Aschen in einem Prozess. Es ist in der Lage, den Ätzprozess mit einer Sollwertüberwachungsrate (SPM) zu steuern, die genau auf innerhalb von 0,05 µm/s für die bestmögliche Wiederholbarkeit ist. Darüber hinaus verfügt die Maschine über modernste Software- und Qualitätskontrollfunktionen, die eine Echtzeitüberwachung des Ätzprozesses und eine maximale Gleichmäßigkeit ermöglichen. Alliance A6 9400 DFM wurde mit hocheffizienten Abscheidewerkzeugen und fortschrittlichen E-Beam- und ICP-Quellsystemen mit leistungsstarken Filterfunktionen entwickelt, wodurch es extrem effizient ist und qualitativ hochwertige Ergebnisse liefert. Erweiterte Hardwarefunktionen wie Echtzeit-Datenerfassung und Protokollierung von Prozessparametern verbessern die Wiederholbarkeit. Das Schichtleitsystem bietet Einheitlichkeitskontrolle und Echtzeit-Diagnosefunktionen, die es zu einer guten Wahl für verschiedene High-End-Ätzprozesse machen. ALLIANCE A6 9400DFM etcher/asher bietet auch eine Vielzahl von Prozessmodulen und Optionen, die es ermöglichen, auf verschiedene Anwendungen zugeschnitten zu sein. Seine fortschrittliche Gate- und Kammerschutzeinheit verspricht maximalen Schutz und Lebensdauersicherheit durch den fortschrittlichen Leckagedetektor und das Waferschutzmodul. Darüber hinaus verfügt die Maschine auch über eine integrierte Maschinendiagnose, um eine effektive und effiziente Wartung zu gewährleisten. Insgesamt ist LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM ein fortschrittlicher, zuverlässiger und flexibler Ätzer/Ascher, der eine überlegene Werkzeugsteuerung, Wiederholbarkeit und Genauigkeit bietet. Seine Hochleistungs-E-Strahl- und ICP-Quellensysteme bieten ihm hervorragende Filtrations- und Prozesssteuerungsfunktionen und sind somit eine gute Wahl für verschiedene Produktionsanwendungen von Halbleiterbauelementen. Sein fortschrittliches Assetdiagnose- und Lecksuchmodell garantiert maximalen Schutz und eine lange Lebensdauer. Daher ist die LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM eine ausgezeichnete Wahl für das Steuern und wiederholbare Ätzen, Aschen und verschiedene andere Fertigungsprozesse von Geräten.
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