Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #9027019 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9027019
Poly etcher
Software version: A2.1.1-009
Main body: Alliance 6
Process module 1: Alliance stripper
Process module 2: 9400 DFM
Process module 3: 9400 DFM
Process module 4: Alliance stripper
Monitor rack: Alliance PC and T-box, Japanese type (mm screw)
Chiller: Risshi EX-2004
UPS: Nemic Lambda PS 1210
Turbo pump and controller:
PM-2 turbo pump: Alcatel ATH-1600M
PM-2 controller: Alcatel ATC-1300M/1600M
PM-3 turbo pump: Alcatel ATH-1600M
PM-3 controller: Alcatel ATC-1300M/1600M
Dry pump:
Transfer module: Edwards iQDP80
Loadlock: Edwards iQDP80
PM-1: Edwards iQDP80 / QMB500F
PM-2: Edwards iQDP80
PM-3: Edwards iQDP80
PM-4: Edwards iQDP80 / QMB500
RF generator:
PM-2 top: Advanced Energy RFDS
PM-2 bottom: Advanced Energy RFG1250 Halo
PM-3 top: Advanced Energy RFDS
PM-3 bottom: Advanced Energy RFG1250 Halo
MFC:
PM-1:
Gas 1: AERA, FC-D980C, 02, 5000 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, N2, 1000 SCCM
PM-2:
Gas 1: AERA, FC-D980C, Cl2, 200 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, HBr, 500 SCCM
Gas 3: AERA, FC-D980C, O2, 10 SCCM
Gas 4: AERA, FC-D980C, He, 200 SCCM
Gas 5: AERA, FC-D980C, SF6, 200 SCCM
Gas 6: AERA, FC-D980C, O2, 200 SCCM
Gas 7: AERA, FC-D980C, CF4, 200 SCCM
Gas 8: AERA, FC-D980C, CHF3, 200 SCCM
PM-3:
Gas 1: AERA, FC-D980C, Cl2, 200 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, HBr, 500 SCCM
Gas 3: AERA, FC-D980C, O2, 10 SCCM
Gas 4: AERA, FC-D980C, He, 200 SCCM
Gas 5: AERA, FC-D980C, SF6, 200 SCCM
Gas 6: AERA, FC-D980C, O2, 200 SCCM
Gas 7: AERA, FC-D980C, CF4, 200 SCCM
Gas 8: AERA, FC-D980C, CHF3, 200 SCCM
PM-4:
Gas 1: SAM, SFC480E, O2, 5000 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, N2, 1000 SCCM
2001 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches Ätzprozesswerkzeug zum Aufbringen von Dünnschichtmustern von Materialien wie Metallen, Gläsern, dielektrischen Materialien oder Photoresists. Es ermöglicht die strukturierte Abscheidung und Ätzung von beliebigem Material oder Substrat über eine Vielzahl von spezifischen Prozessen. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM verwendet direkte Elektronenstrahllithographie, reaktives Ionenätzen (RIE), visuelle Inspektion, Vakuum-Thermocluster (VTC) -Verarbeitung und Flammenbehandlungstechnologie für den Ätz- und Abscheidungsprozess von Produkten. Das Werkzeug arbeitet, indem es einen Elektronenstrahl auf das zu strukturierende Material fokussiert. Dadurch wird das Material in vielen sehr kleinen Bereichen aufgeschmolzen, was zu einem Tröpfchenmuster führt. Danach findet ein chemischer Ätzprozess statt, der dazu führt, dass sich die Tröpfchen über das Material ausbreiten, wodurch ein Muster von nanometergroßen Merkmalen entsteht. Nach dem Erzeugen des Musters wird der reaktive Ionenätzprozess (RIE) verwendet, um das Muster weiter zu verfeinern und zu reinigen. Dabei werden mit Hilfe eines elektrischen Feldes reaktive Ionen am Substratmaterial angetrieben, stark lokalisierte Stellen entfernt, die dann durch weitere Vakuumverarbeitung, Flammbehandlung und Sichtprüfung gereinigt werden. Alliance A6 9400 DFM ist ein extrem präziser Ätzer/Ascher, der für optimale Leistung und Kontrolle gebaut ist. Es ist in der Lage, Muster bis zu 10 Nanometer herzustellen, und wird in einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiterherstellung, MEMS-Produktion und Dünnschichtabscheidung verwendet. Das Werkzeug ist auch in der Lage, Spezialprozesse wie Vorspannung, Mikromachinierung, Verdichtung und Nanowirnumformung zu unterstützen, so dass es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von komplexen Jobs ist. ALLIANCE A6 9400DFM ist mit einem Bildkorrektursystem ausgestattet, das eine präzise ballistische Delithiation und Auflösung von Merkmalen bis zu einem Nanometer ermöglicht. Das Tool enthält auch eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen wie ein automatisiertes Reticle-Programm, VTC-Verarbeitung (Vuum Thermal Cluster) und PC-basierte In-situ-Algorithmus-Steuerung. Die LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM ist äußerst benutzerfreundlich und dank der intuitiven Programmierschnittstelle lassen sich die Ätzprozesse einfach bedienen und modifizieren. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM etcher/asher ist ein fortschrittliches, präzises Werkzeug zum Auftragen präziser Dünnschichtmuster auf verschiedene Materialien. Seine Fähigkeiten und erweiterten Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für private oder kommerzielle Anwendungen in der Mikroelektronik, Halbleiter- und MEMS-Industrie. Alliance A6 9400 DFM etcher/asher ist ein äußerst benutzerfreundliches Werkzeug, dessen intuitive Programmieroberfläche und erweiterte Funktionen den Ätzprozess effizienter und genauer machen.
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