Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9038352 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 9400 ist ein Ätzer/Ascher, eine Art Sputterabscheidungsausrüstung. Das System nutzt kapazitiv gekoppelte Hochfrequenzleistung (RF), um dünne Metallschichten auf ein Substrat zu sputtern. Alliance A6 9400 ist eine Hochdurchsatzeinheit, die einheitliche Folienbeschichtungen mit hohen Geschwindigkeiten herstellen kann. Die Maschine ist eine Zweikammerkonfiguration mit einer HF-Stromversorgung, einem inerten Plasma und einer Vakuumkammer. Die Ätzkammer beherbergt die HF-Elektroden, die an die HF-Stromversorgung angeschlossen sind. Die HF-Leistung in der Kammer wird durch die Stromversorgung gesteuert und auf die gewünschten Ätzparameter gemäß dem gewünschten Ätzvorgang eingestellt. Das inerte Plasma wird in der Kammer aktiviert und dient zur Aktivierung der Metallionen in den reaktiven Gasen. Die Materialien werden durch Ionenbeschuss auf das Substrat gesputtert und die HF-Leistung zur Förderung einer gleichmäßigen Abscheidung des sputterten Metallfilms eingestellt. Die Vakuumkammer bietet eine Umgebung für den Abscheidevorgang bei niedrigem Druck, und die beiden Kammern sind miteinander verbunden, um eine Druckdifferenz zwischen der Ätz- und der Vakuumkammer aufrechtzuerhalten. LAM RESEARCH Alliance A6 9400 ist mit einem fortschrittlichen Multi-Sensor-Bildgebungswerkzeug ausgestattet, um das Wachstum des Films während des Ätzprozesses zu überwachen. Die aufgenommenen Bilder können zur Prozessüberwachung und Fehlerbehebung sowie zur visuellen Darstellung der Gleichmäßigkeit der Beschichtung verwendet werden. Die Anlage ist auch mit einer offenen Schleifenprozesssteuerung ausgestattet, um Rückmeldung der Ätzrate und Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu geben. Alliance A6 9400 ist ein anpassungsfähiges Hochdurchsatz-Ätzen/Ascher, das in der Lage ist, Filme mit hervorragender Leistung zu produzieren. Das fortschrittliche Zweikammerdesign, die offene Prozesssteuerung und das Abbildungsmodell bieten dem Anwender die Möglichkeit, den Abscheidungsprozess genau zu steuern und gewünschte Ergebnisse zu erzielen.