Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9050180 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9050180
TCP Etcher. 6"
Robot: Brooks Magnatran 7
Process Module 1:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 2:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 3:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Gas box:
Modular gas box
Remote power module.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine, die speziell für präzises Ätzen und Aschen entwickelt wurde. Es eignet sich zur Verarbeitung temperaturempfindlicher Materialien wie Silizium, SiO2, II-VI-Verbindungen, Low-k-Dielektrika und III-V-Verbindungen. Das System ist hochgradig konfigurierbar und verfügt über eine breite Palette von HF-Quellen und Prozessgasquellen, die es ermöglichen, Wafer verschiedener Dimensionen zu bearbeiten. Die Einheit verfügt über ein Lastschließmodul, eine thermische Kammer, ein integriertes Waferfutter, einen Mehrzonenheizer und eine Vakuumpumpe. Das Lastschließmodul umfasst eine Lastkammer mit automatischer Last- und Entlastungsmaschine, ein Substratfokussierwerkzeug in der Lastkammer und eine Abgasanlage mit integriertem Gaspanel und einem Abgasventilator. Die Wärmekammer besteht aus einer separaten Kammer und einem Heizmodul. Das Heizmodul ist in der Lage, die Temperatur der Kammer auf einem konstanten gewünschten Zustand zu halten. Dies ist wesentlich, um eine Degradierung der Wafer bei Verarbeitungstemperaturen zu verhindern. Durch das integrierte Substratfutter entfällt das manuelle Be- und Entladen von Substraten. Diese Automatisierung hilft, die Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit zu verbessern. Das Modell wird von einem speziell entwickelten Elektronikschrank angetrieben und mit einer berührungsempfindlichen GUI betrieben. Die GUI bietet eine Reihe von Funktionen wie Rezepterstellung, Echtzeit-Datenanzeige, Ionenquellen-Abstimmung und Anzeige des Kammerdrucks. Es ermöglicht auch eine programmierbare Prozesssteuerung und -überwachung von einer zentralen Station aus. Die Geräte sind auch in das APC-Modul (Adaptive Process Control) und die Advanced Process Containment (APC) -Systeme integriert. Das APC-Modul ermöglicht die automatische Anpassung der Ätzprozessparameter auf Basis der Messrückmeldedaten und sorgt so für konsistente Ergebnisse mit höchster Präzision. Das APC-System trägt dazu bei, die Auswirkungen von Prozessdrift und Prozessvariation zu minimieren. Alliance A6 9400 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschereinheit mit beispielloser Präzision und Vielseitigkeit. Es wurde entwickelt, um optimale Präzision und Leistung unter den anspruchsvollsten Ätz- und Aschebedingungen zu bieten. Seine fortschrittlichen Automatisierungs- und Steuerungsfunktionen machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für jede Ätz- oder Ashing-Anwendung.
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