Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9296416 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Alliance A6 9400 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Aufgaben bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es nutzt patentierte Technologien, um eine überlegene Prozesssteuerung, einen erhöhten Durchsatz und verbesserte Erträge für Ätz- und Ascheprozesse anzubieten. Die Baureihe A6 9400 unterstützt die gesamte Bandbreite an Ätz-/Ascheprozessanforderungen mit bis zu 100 cm2 Waferkapazität. Der A6 9400 ist ein großformatiger, robuster Ätzer/Ascher mit mehreren automatisierten Funktionen, um Präzision und Gleichmäßigkeit des Prozesses zu gewährleisten. Es verwendet die Dry Operating Gas Delivery (DOGD) Technologie, um den Gasfluss präzise mit digitalen Steuerventilen zu steuern. Dies bietet eine saubere und stabile Gasumgebung für Ätzprozesse. Es enthält auch ein integriertes berührungsloses Thermoelement zur präzisen Temperaturregelung. Es verwendet auch eine schnell spülende Ausrüstung, um die Bearbeitungszeit der Proben zu reduzieren. Der A6 9400 verfügt über eine Hochgeschwindigkeitssystemkonfiguration, um den Durchsatz zu erhöhen und die Ätzzeit zu reduzieren. Dazu gehören ein hochauflösender 300-Watt-HF-Generator für verbessertes Maskieren und Ätzen, eine hochpräzise, schnelle Laserabstimmeinheit für verbesserte Homogenität des Plasmafeldes und eine Hochgeschwindigkeits-Scan-Technologie zur Optimierung der Strahlformung. Die Maschine umfasst auch erweiterte Computersteuerungs- und Rezeptspeicherfunktionen für Wiederholbarkeit und Datenverfolgbarkeit. Das A6 9400 wurde entwickelt, um einfach zu konfigurieren und zu bedienen, mit einem intuitiven Bedientool und einem Touchscreen-Bedienfeld. Das Asset kann einfach konfiguriert werden, um bestimmte Ätz-/Ascheanforderungen mit anpassbaren Parametern und Einstellungen zu erfüllen. Es beinhaltet umfassende Sicherheitsmerkmale, einschließlich Durchlauf Luftschleuse Schutz, Echtzeit-Messtechnik mit einer einstellbaren Belichtungsgrenze, und ein atmosphärisches Überwachungsmodell. Alliance A6 9400 ist ein zuverlässiger und fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für überlegene Prozesskontrolle, erhöhten Durchsatz und Ertrag und einfache Bedienung entwickelt wurde. Es verwendet patentierte Technologien und anpassbare Funktionen, um eine breite Palette von Ätz-/Ascheanforderungen für eine effiziente und effektive Halbleiterbauelementherstellung zu unterstützen.
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