Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX #9098070 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX ist eine Trockenätzplasma-Technologie (DPT) für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dabei handelt es sich um ein Zweikammer-Mehrprozessystem, das es ermöglicht, mehrere Ätz- oder Ascheroperationen in einer einzigen Sequenz durchzuführen. Das Gerät verfügt über eine Plasmaquelle und HF-Leistungssteuerungskomponenten sowie eine vakuumgesteuerte Kammer, Luftschleuse und Bewegungskapazitäten. Die Kammer ist außerdem mit einem HF-Plasmagenerator und einer Kälteplatte für eine optimale thermische Verarbeitung ausgebildet. Zu den Hauptkomponenten der Maschine gehören zwei unabhängige Prozesskammern, eine Ätzkammer und eine Ascherkammer. Die Ätzkammer ist mit einer Mikrowellenquelle, einer einzigartigen HF/DC-betriebenen Plasmaquelle und vollautomatischen HF-Source-Controllern für präzise Ätzeinstellungen ausgestattet. Es verfügt auch über ein zuverlässiges Substratlieferwerkzeug sowie verriegelte Sicherheitssysteme, um Proben vor unbeabsichtigter Kontamination zu schützen. LAM RESEARCH ALLIANCE A6-9600PTX Asset kann verwendet werden, um Ätz- und Ascheroperationen wie Deep Reactive Ion Etch (DRIE), Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) und Ätzschäden durch adiabatisches Ätzen durchzuführen. Es bietet auch Glühfähigkeit mit programmierbarer Temperatur bis zu 600 ° C, so dass es für fortgeschrittenes Glühen von Wafern geeignet ist. Es bietet einen maximalen Prozessdruck von 40 mTorr bei einem Basisdruck von 5 × 10-7 Torr, mit einer effektiven Ätzrate von bis zu 130 nm/min. Das Modell hat eine maximale HF-Leistung von 1.500 W bei einem Frequenzbereich von 10 MHz-2.45 GHz. Darüber hinaus bietet die Anlage eine hochgenaue Prozesssteuerung mit 6 einstellbaren Plasmaparametern. Dieser Ätzer/Ascher ist hocheffizient und liefert wiederholbare Prozessabläufe zur Erzeugung hochwertiger Ergebnisse auf flexiblen Substraten. Darüber hinaus bieten die intuitiven GUI und Sicherheitsverriegelungen des Systems eine erhöhte Bedienersicherheit und helfen, unerwünschte Schäden an Probe und Prozesskammer zu vermeiden. ALLIANCE A6 9600PTX ist daher eine ausgezeichnete Wahl für effiziente Ätz-/Ascheroperationen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen.