Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9354470 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 9600 ist eine vollautomatisierte schnelle thermische Verarbeitungsanlage, die auf fortschrittlichen Technologien basiert und ihren Anwendern höchste Präzision und Effizienz bietet. Das System arbeitet innerhalb eines Temperaturbereichs von 25 ° C bis 900 ° C und bietet eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit von +/- 5 ° C, was bedeutet, dass die Umgebung innerhalb der Verarbeitungskammer beim Aufheizen und Abkühlen konstant bleibt. Die Temperaturstabilität gewährleistet eine optimale Ätz- oder Ascheleistung bei jeder Temperatur und Substratkombination. Das Gerät ist mit einer intuitiven Embedded-Steuerungsmaschine ausgestattet, die eine flexible Rezeptsteuerung bietet, die die Integration von atmosphärischer, Heizrate, Kühlung, Endpunktkorrektur und vielen anderen Prozessparametern ermöglicht. Auch dieses Steuerwerkzeug ist bei Bedarf in der Lage, diese Prozessparameter dynamisch einzustellen. Die Anlage ist in der Lage, bis zu 6 Substrate gleichzeitig mit einer Prozesskammergröße von 100mm Durchmesser und einer Substratgröße von 8 „oder 12“ zu verarbeiten, was eine höhere Durchsatzleistung ergibt. Die Kammer ist so konzipiert, dass sie Ätz- und Oxidationsprozesse durchführt und außerdem mit einem Quarzfensteranzeiger ausgestattet ist, so dass Benutzer den Fortschritt ihrer Arbeit deutlich sehen können, ohne den Kammerdeckel öffnen zu müssen. Das Schnellverarbeitungsmodell Alliance A6 9600 ist eine ideale Lösung für Anwender, die eine präzise Temperaturstabilität erreichen und maximale Effizienz und Leistung bei der Verarbeitung ihrer Substrate erzielen möchten.