Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX #9266046 zu verkaufen

ID: 9266046
Wafergröße: 8"
Etcher, 8" Integrated gas panel PM1: Microwave PM2: 9600 PTX PM3:9600 PTX PM4: Microwave PM5: Aligner PM6: Cool station Electrostatic chuck Turbo pump Turbo gate valve: VAT65 Photodiode endpoint detection system Gases: N2, O2, BCL3, CHF3, CL2, AR CD ROM Manuals included Mainframe Robot MAG7 Dual blade VCE6, Rotation, with dynamic seal Signal lamp tower Turbo Pump: PM1: NA PM2: SEIKO SEIKI H1303CV3 PM3: SEIKO SEIKI H1303CV3 PM4: NA RF/ Microwave generator: PM1: MKS CPS PM2: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM3: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM4: MKS CPS.
LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX ist eine fortschrittliche physikalische Dampfabscheidung (PVD) und Ätztechnologie, die entwickelt wurde, um Geräteherstellern die Schaffung komplexer nichtflüchtiger Speicherchips mit höherer Ausbeute und mehr Leistung zu ermöglichen. Mit einer großen vertikalen Reichweite bietet Alliance A6 9608 PTX eine Reihe von speziellen Modulen, um die Anforderungen an die Geräteherstellung zu erfüllen, sodass integrierte Schaltungen schneller und präziser konzipiert werden können. LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX verfügt über eine vollständige Palette von Vakuum-Prozessfähigkeiten, von der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) bis zum chemischen Ätzen, die für die Herstellung von nichtflüchtigen Speicherchips unerlässlich sind. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung von Prozessbedingungen wie Kammerdruck und Temperatur sowie Abscheidegeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit. Mit diesen Möglichkeiten können Gerätemechanismen präzise geätzt und präzise zwischen den Schichten gesteuert werden, wodurch kostspielige und zeitaufwendige manuelle Anpassungen entfallen. Darüber hinaus ist dieses System mit Temperaturprogrammierung ausgestattet, eine Absicherung, um Schäden an der Kammer und Prozessteile zu verhindern. Dies ermöglicht eine einfache und genaue Abstimmung der Prozessbedingungen, bietet eine höhere Ausbeute und reduziert das Risiko einer Kontamination. Darüber hinaus kann die Alliance A6 9608 PTX mit ihrer hohen Steuerbarkeit schwierige Strukturen mit dreidimensionalen Konturen herstellen. Damit lassen sich komplexe Architekturen wie nanoskalige Speicherchips mit einer wesentlich höheren Ausbeute und Leistung als bisher realisieren. LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX verfügt auch über hocheffiziente Roboterprobenhandhabung und Schlitz-/Quellzonen. Dieses Merkmal ist vorgesehen, um sicherzustellen, dass die entsprechende Probenmenge mit hoher Genauigkeit und schneller gehandhabt wird. Die robotischen Handler sind mit einer zentralen Steuerung verbunden, die dem Bediener die Kontrolle über die verschiedenen Prozessschritte gibt, um einen reibungslosen Betrieb und Effizienz zu gewährleisten. Zusammenfassend ist Alliance A6 9608 PTX ein Top-of-the-Line-Ätzer und Ascher für diejenigen, die komplexe nichtflüchtige Speicherchips herstellen müssen. Die integrierten Vakuumprozessfähigkeiten, die Temperatursicherheitsprogrammierung und die ausgeklügelte Roboterbehandlung ermöglichen es, Präzision und Steuerbarkeit in kürzerem Zeitrahmen und mit höherer Ausbeute und Leistung als ältere Systeme zu liefern.
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