Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX #9266046 zu verkaufen
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ID: 9266046
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
Integrated gas panel
PM1: Microwave
PM2: 9600 PTX
PM3:9600 PTX
PM4: Microwave
PM5: Aligner
PM6: Cool station
Electrostatic chuck
Turbo pump
Turbo gate valve: VAT65
Photodiode endpoint detection system
Gases: N2, O2, BCL3, CHF3, CL2, AR
CD ROM Manuals included
Mainframe
Robot MAG7
Dual blade
VCE6, Rotation, with dynamic seal
Signal lamp tower
Turbo Pump:
PM1: NA
PM2: SEIKO SEIKI H1303CV3
PM3: SEIKO SEIKI H1303CV3
PM4: NA
RF/ Microwave generator:
PM1: MKS CPS
PM2: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO
PM3: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO
PM4: MKS CPS.
LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX ist eine fortschrittliche physikalische Dampfabscheidung (PVD) und Ätztechnologie, die entwickelt wurde, um Geräteherstellern die Schaffung komplexer nichtflüchtiger Speicherchips mit höherer Ausbeute und mehr Leistung zu ermöglichen. Mit einer großen vertikalen Reichweite bietet Alliance A6 9608 PTX eine Reihe von speziellen Modulen, um die Anforderungen an die Geräteherstellung zu erfüllen, sodass integrierte Schaltungen schneller und präziser konzipiert werden können. LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX verfügt über eine vollständige Palette von Vakuum-Prozessfähigkeiten, von der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) bis zum chemischen Ätzen, die für die Herstellung von nichtflüchtigen Speicherchips unerlässlich sind. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung von Prozessbedingungen wie Kammerdruck und Temperatur sowie Abscheidegeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit. Mit diesen Möglichkeiten können Gerätemechanismen präzise geätzt und präzise zwischen den Schichten gesteuert werden, wodurch kostspielige und zeitaufwendige manuelle Anpassungen entfallen. Darüber hinaus ist dieses System mit Temperaturprogrammierung ausgestattet, eine Absicherung, um Schäden an der Kammer und Prozessteile zu verhindern. Dies ermöglicht eine einfache und genaue Abstimmung der Prozessbedingungen, bietet eine höhere Ausbeute und reduziert das Risiko einer Kontamination. Darüber hinaus kann die Alliance A6 9608 PTX mit ihrer hohen Steuerbarkeit schwierige Strukturen mit dreidimensionalen Konturen herstellen. Damit lassen sich komplexe Architekturen wie nanoskalige Speicherchips mit einer wesentlich höheren Ausbeute und Leistung als bisher realisieren. LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX verfügt auch über hocheffiziente Roboterprobenhandhabung und Schlitz-/Quellzonen. Dieses Merkmal ist vorgesehen, um sicherzustellen, dass die entsprechende Probenmenge mit hoher Genauigkeit und schneller gehandhabt wird. Die robotischen Handler sind mit einer zentralen Steuerung verbunden, die dem Bediener die Kontrolle über die verschiedenen Prozessschritte gibt, um einen reibungslosen Betrieb und Effizienz zu gewährleisten. Zusammenfassend ist Alliance A6 9608 PTX ein Top-of-the-Line-Ätzer und Ascher für diejenigen, die komplexe nichtflüchtige Speicherchips herstellen müssen. Die integrierten Vakuumprozessfähigkeiten, die Temperatursicherheitsprogrammierung und die ausgeklügelte Roboterbehandlung ermöglichen es, Präzision und Steuerbarkeit in kürzerem Zeitrahmen und mit höherer Ausbeute und Leistung als ältere Systeme zu liefern.
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