Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX #9213369 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX ist ein hochpräziser, automatisierter Ätzer/Ascher, der für die Herstellung von Halbleitern in Massenproduktion entwickelt wurde. Diese Maschine wurde entwickelt, um durch Optimierung des Handhabungs-, Einführungs-, Beschichtungs- und Ätzprozesses einen hohen Waferdurchsatz zu ermöglichen. Die Gesamtausstattung umfasst eine individuelle Steuereinheit mit integriertem Ascher und Heiz-/Kühlfunktionen. Die Steuereinheit enthält einen programmierbaren Logikregler zur präzisen Prozesssteuerung, ein elektromechanisches Ventil, ein Gaspanel zur Einleitung und Verwaltung von Reaktiv- und Prozessgasen sowie ein Hochgeschwindigkeits-Hubsystem. Die einzelne Asche besteht aus einer Plattform, die sich auf einem Aufzug befindet, der von einer X-Achsen-Kommissioniereinheit getragen wird. Der Lift bewegt die Plattform vertikal und die X-Axis Staging Maschine bewegt die Plattform über die gesamte Prozesskammer. Die Alliance A6 TCP 9408 verfügt über mehrere fortschrittliche Prozesssteuerungstechnologien, wie LAM RESEARCH EECO-GATE Precision Tuning Tool, Pilot Asher a3 und die Auto-Pilot Asher Prozesssoftware. Das EECO-GATE Asset optimiert die HF-Leistung, um wiederholbare und wiederholbare Wiederholungen des Ätzvorgangs zu ermöglichen. Der Pilot Asher a3 Modell ist in der Lage, völlig unabhängige Steuerung der Prozessparameter, um sicherzustellen, dass der Ätzprozess ist wiederholbar und wiederholbar wiederholbar für jeden Wafer. Die Auto-Pilot Asher Prozesssoftware spielt eine wichtige Rolle bei der Prozesssteuerung und ermöglicht Prozessautomatisierung wie automatische Korrekturen in der HF-Leistung, Ätzrate, Durchflussrate und anderen Prozessvariablen. Die Alliance A6 TCP 9408 enthält außerdem eine integrierte Kühl-/Heizeinrichtung, die eine präzise Temperaturregelung der Prozesszone ermöglicht und sicherstellt, dass der Ätzprozess im gewünschten Temperaturbereich erfolgt. Die Maschine enthält auch ein Elektrodenaustauschsystem, das eine schnelle Substitution von Elektroden für verschiedene Aufträge und verschiedene Wafer ohne manuellen Eingriff ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Alliance A6 TCP 9408 über mehrere Sicherheitsmerkmale, darunter eine Sicherheitsverriegelungseinheit, eine Brandschutzmaschine und ein Notabsperrventilwerkzeug. Die Filteranlage der Maschine wurde entwickelt, um die Prozessumgebung vor Kontamination zu schützen. Zusammenfassend ist Alliance A6 TCP 9408 PTX ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um nahtlose, wiederholbare und wiederholbare Wiederholungen von Waferprozessen zu ermöglichen. Die Maschine ist mit mehreren fortschrittlichen Prozesssteuerungstechnologien und Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, was sie zu einer zuverlässigen Wahl für die Massenproduktion von Halbleiterherstellungsanforderungen macht.