Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 #9123023 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Alliance A6 ist eine Präzisionsätz- und Ascheausrüstung, die für die anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanwendungen entwickelt wurde. Alliance A6 ist in der Lage, bei einer Reihe von Ätz- und Auswertungsanwendungen eine überlegene Leistung zu erzielen. Es ist mit fortschrittlichen High-End-Funktionen ausgestattet, die es zum perfekten Werkzeug für die Herstellung von nanoskaligen Geräten und das MEMS-Prototyping machen. LAM RESEARCH Alliance A6 bietet eine sehr genaue Plasmaerzeugung und -steuerung auf derselben Plattform, so dass Benutzer eine enge Plasmaparameterstabilität und eine breite Palette von Ätz- und Ascheergebnissen erzielen können. Das System ist in der Lage, Submikron-Ätzungen sowie hochauflösende Ionenstrahlätz- und Ascheoperationen durchzuführen. Dies wird durch fortschrittliche Ätz- und Ascherezepturen und Echtzeit-Plasmaüberwachungssysteme ermöglicht. Alliance A6 wird mit einer hochmodernen DC-Magnetron-Sputterquelle mit hohem Durchsatz gebaut. Dadurch werden sehr hohe Ätz- und Ascheraten gleichzeitig gewährleistet, um mit mehreren Probensubstraten zu arbeiten. Das Gerät bietet auch einen klaren Blick auf den Prozess mit der Möglichkeit eines Laserinterferometers zur dynamischen Rückkopplungssteuerung. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Teile der Probe gleichmäßige Ätz-/Ascheeigenschaften aufweisen. Um bestmögliche Ergebnisse zu erzielen, verfügt die LAM RESEARCH Alliance A6 auch über eine zuverlässige Sicherheit und Umweltverträglichkeit. Es ist voll konform mit Halbleiterindustrie und Reinraumluftqualitätsstandards. Dies schützt die Integrität der Probe vor Verunreinigungen, harmonischen Geräuschen und anderen Umweltfaktoren, die den Prozess beeinflussen könnten. Darüber hinaus enthält es eine Dekontaminationsmaschine, um sicherzustellen, dass keine chemischen Rückstände auf der Probe nach dem Ätzen verweilen. Insgesamt ist Alliance A6 eine ideale Wahl für das Ätzen und Aschen auf mehreren Substrattypen und bietet eine hervorragende Prozesskontrolle und -ergebnisse. Seine High-End-Eigenschaften machen es für eine Vielzahl von nanoskaligen Geräteherstellung und MEMS Prototyping Anwendungen geeignet.
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