Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 #9176367 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 ist ein Ätzer/Ascher, der an den Prinzipien der Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Ätzung arbeitet. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um strenge Ätz- und Ascheprozessanforderungen einer breiten Palette von Halbleitermaterialien zu erfüllen. Der A6 bietet überlegene Ätz- und Ascheleistungen sowie geringe Wartungskosten und minimale Ausfallzeiten. Das System verfügt über eine All-N-Typ ECR-Ätzprozesskammer, die mit einem Heliumgasinjektoren und einer Ionenquelle ausgestattet ist. Das Hochenergie-Resonanzverfahren des A6 ermöglicht eine hohe Ätzrate und eine überlegene Selektivität, auch auf subhalben Mikrometern. Die Heliumgasinjektoren ermöglichen eine geringe Abscheidung, ausgezeichnete Selektivität und schnelle Ätzraten. Die Ionenquelle erzeugt einen energiereichen Ionenstrahl, um das Material schnell vom Substrat zu entfernen, was effiziente Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Das Gerät ist mit einem hochgleitfähigen Plasma-Reinigungsmodul integriert, um die Prozesskammer des A6 sicher und zuverlässig zu reinigen. Dieses Modul erhöht die Plasmadichte, verbessert die Ätz- und Ascheprozesse und verbessert die gesamte Prozesswiederholbarkeit. Eine Hochleistungs-Gasversorgungsmaschine sorgt für thermische Kontrolle und die höchste Verschmutzungsverhinderung. Fortschrittliche Drei-Wege-Regelkammern in Echtzeit ermöglichen eine präzise Steuerung von Ätzprozessen. Darüber hinaus sorgt ein proprietäres Load-Lock-Tool für hochpräzise Rezepturen und Gleichmäßigkeit. Die Anlage verfügt über ein automatisiertes Rezept-Management-Modell, um den Transfer von Rezepten zwischen Kammern mit wenig Aufwand zu erleichtern. Kundenspezifische KI-Prädiktionsrezepte bieten optimale Prozessleistung auf jedem Substrat und jeder Prozesskombination. Das Gerät bietet dem Benutzer außerdem Echtzeit-Statusinformationen und -Steuerung, um die Prozessüberwachung und Fehlerbehebung zu verbessern. Die optionale Air-to-Process-Schnittstelle reduziert Ausfallzeiten für die Auftragsfolge und erhöht so den Prozessdurchsatz. Das System bietet auch hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, auch bei der Verarbeitung von Substraten mit unterschiedlichen Dicken. Der A6 bietet auch Flexibilität und ermöglicht verschiedene Ätztechniken wie Isotropic, Anisotropic und Directional Etching. Alliance A6 ist ein leistungsstarkes Werkzeug zum Hochleistungsätzen und Aschen von Halbleitermaterialien. Es bietet zuverlässige Ätzleistung, zusammen mit sicheren und wartungsarmen. Der A6 bietet modernste Ätz- und Aschetechnologien und ermöglicht kundenspezifische Prozessrezepte zur Steigerung der Effizienz und Wiederholbarkeit. Insgesamt ist die LAM RESEARCH Alliance A6 eine leistungsstarke Ätz- und Ascheeinheit, die überlegene Ätzleistung bietet, ohne die Sicherheit zu beeinträchtigen.