Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A6 #9389920 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A6 ist ein Single-Wafer Batch Etcher/Asher, der für die Hochdurchsatzverarbeitung entwickelt wurde. Es bietet fortschrittliche Technologie mit kompakter Stellfläche, hoher Leistung und überlegener Verarbeitungswiederholbarkeit. Alliance A6 verfügt über eine zweistufige HF-Plasmaquelle mit unabhängiger DC-Bias-Steuerung, die eine ausgezeichnete Ätz-/Ascheselektivität sowie Hochleistungs-Anisotropie-Ätz-/Ascheprozesse bietet. Sie kann auch für hochdichte Plasmaätz- oder Trockenstreifenätzungen ausgebildet sein. Die Kammer verfügt über eine automatisierte, zentrierorientierte Gasverteilungseinrichtung für verbesserte Ätzgleichförmigkeit. Die mittenorientierte Gasverteilungsfähigkeit bietet ∼10x Verbesserung der Ätzgleichförmigkeit gegenüber den herkömmlichen co-linearen Schlitzsystemen. Das kompakte und dennoch leistungsstarke Be-/Entladesystem auf Waferebene ermöglicht ein einfaches Be-/Entladen und Platzieren von Proben. Die LAM LAM RESEARCH Alliance A6 ist in der Lage, Standard-, zerbrechliche und Dickschichtwafer bis zu 6 "(150 mm) zu handhaben. Das Gerät ist für Hochtemperaturprozesse (bis 450 ° C) und Hochdruckprozessrezepte (bis 65 Torr) ausgelegt. Die Steuerhardware und Software der Maschine verfügt über eine intuitive und benutzerfreundliche Oberfläche. Es ist in der Lage, Hunderte von Rezepten zu speichern, die leicht zurückgerufen werden können. Das Niveau der Raffinesse und intuitiven Funktionen bietet, entfällt die Notwendigkeit einer komplexen Programmierung. Alliance A6 bietet viele erweiterte Funktionen, die Benutzerproduktivität, Wiederholbarkeit und überlegene Prozessleistung gewährleisten. Diese Merkmale umfassen: erweiterte Diagnose und Überwachung, Wasserstoffverdünnungssteuerung, einheitliche Gaseinspritzung und Substrat HF Vorspannung. LAM RESEARCH Alliance A6 ist ein ideales Ätz-/Aschewerkzeug für die Abscheidung von Hochleistungs-Dünnschichtmaterialien, einschließlich solcher für Halbleiter-, optische und optoelektronische Bauelemente. Sein überlegenes Feature-Set macht es zu einer ausgezeichneten Wahl, um die Produktivität und den Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig eine hervorragende Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit zu gewährleisten.