Gebraucht LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293627727 zu verkaufen
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ID: 293627727
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
Chamber
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M Turbo molecular pump
ACT 1300M PM Pump controller
Enhanced gas box
Spooled inlet gas panel
HORIBA / STEC Mass Flow Controller (MFC) Type: Digital
Gas filter: ≥0.003 um
Gas box stacking: 4 PM Stacking
Pump ballast with AOV 85
Chamber manometer: MKS 0.1 Torr
Turbo manometer: MKS 10 Torr
Fore line manometer: MKS 10 Torr
Pressure control valve: Pendulum VAT65
Helium pressure control unit: UPC-1300
ESC 718-094523-281 Bipolar anodize (Notch), 750 V, 24 VDC
Chamber configuration: Elevated top hat
Direct pressure monitoring
He Cooling size (Center): 50 SCCM
(8) Gas lines:
Line / Gas / Size
1 / O2 / 50 SCCM
2 / C2F6 / 100 SCCM
3 / Cl2 / 100 SCCM
4 / HBr / 350 SCCM
5 / He / 500 SCCM
6 / 20% O2/He / 20 SCCM
7 / CF4 / 200 SCCM
8 / SF6 / 200 SCCM
Upper chamber temperature: 60°C
Wall chamber temperature: 60°C
Lower chamber temperature: 65°C
ADVANCED ENERGY RFDS-1250 RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-026)
RF Generator cooling type: Water
Coil (P/N: 853-330601-001)
Match (P/N: 853-032294-002)
Auto tune PCB (P/N: 810-015987-101)
Upper match enclosure with fan
ADVANCED ENERGY RFG-1250 Halo RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-028)
RF Generator cooling type: Water
P/N: 853-015130-103 Match
P/N: 810-017003-005 DIP PCB.
LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX ist eine wünschenswerte Ascher/Ätzer-Maschine für die Fabrikproduktion. Diese kompakte, einfach zu bedienende Maschine wird hauptsächlich zur Bearbeitung von Wafersubstraten verwendet. Das PTX-Modell ist ideal für Materialwachstum und -abbau-Anwendungen, die hohe Genauigkeit und Präzision erfordern. Seine Automatisierungsfunktionen maximieren den Durchsatz, senken die Kosten pro Anwendung und vereinfachen den Betrieb. Die PTX verwendet eine plasmaverbesserte Ätztechnologie mit optimiertem Kammerdesign und fortschrittlichen Ätzparametern, die hochwertige Ergebnisse liefern. Dieser hochentwickelte Ätzer hat ein ausgezeichnetes Abscheidungsprofil, gleichmäßige Überlappungen und eine scharfe Merkmalsdefinition, was zu fehlerfreien Wafern und einer größeren Ausbeute führt. Die TCP 9400 PTX verfügt über eine Tilt Rotation-Stufe, die eine präzise Verarbeitungsausrichtung bei präziser Mustererkennung ermöglicht. Dies ermöglicht die Verarbeitung von Substraten jeder Größe und Dicke unter Beibehaltung einer präzisen Gleichmäßigkeit. Die Maschine hat auch eine außergewöhnliche Lebensdauer mit einer durchschnittlichen Gesamtaufbauzeit von 97%. Die Ausrüstung basiert auf einem 90nm Single-Wafer-Prozess, der sich sowohl für Anwendungen mit niedriger Leistung als auch für Anwendungen mit hoher Dichte eignet. Es bietet eine breite Palette von Systemoptionen für die Anpassung der Ergebnisse an die spezifischen Bedürfnisse eines Kunden. Weitere Merkmale sind eine 25W Hochleistungs-Hochfrequenzquelle, die gleichmäßige Leistung über den gesamten Wafer liefert, automatische Notch-Auswahl und eine sichere Remote-Datenverwaltungseinheit zur Prozesssteuerung und -überwachung. Die PTX ist für langfristige Zuverlässigkeit, genaue Musterung und Wiederholbarkeit und eine Hochleistungsmaschine ausgelegt, um hohen Produktionsanforderungen gerecht zu werden. Die Maschine bietet auch einen hohen Bedienkomfort und eine flexible Bedienung mit einem farbigen Touchscreen und aktualisierter Software, die die Bedienung und Wartung der Geräte einfacher und effizienter macht. Diese Maschine ist gut für jede Produktionsumgebung geeignet und bietet optimale Betriebszeit, Prozesssteuerung und Reproduzierbarkeit.
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