Gebraucht LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 #9255329 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 Ätzer/Ascher ist eine multifunktionale Maschine, die speziell für das Abscheiden und Ätzen von Folien sowie für die damit verbundene Reinigung, physikalische Aufdampfung und Lithographie-Prozesse zur Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Diese Maschine bietet eine breite Palette von Ätzfunktionen und verschiedene Anwendungen, wie MEMS-Bauelemente, zusammengesetzte Halbleiterbauelemente und mikroelektronische Bauelemente. Alliance TCP 9600 Ätzer/Ascher ist mit einer 14 "langen Vakuumkammer mit hoher Kapazität ausgestattet, die Substrate mit einer Größe von bis zu 4" x 4 "aufnehmen kann. Diese Kammer wird über ein chlor- und sauerstoffhaltiges Plasma erhitzt, das durch eine Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Quelle erzeugt wird. Die Plasmaenergie ermöglicht dann ein äußerst präzises Ätzen abgeschiedener Schichten, wie Polysilizium, Epitaxie, amorphes Silizium und andere Materialien. Der Ätzer/Ascher umfasst außerdem einen HF-Vorspannungsgenerator und einen Honeywell-Druckregler, der eine präzise Kombination von Plasmaleistung und Druck für hochwertiges Ätzen ermöglicht. LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 bietet auch zwei In-situ-Ionen-Massenspektrometer an, die eine Echtzeit-Überwachung des Ätzprozesses ermöglichen und wichtige Informationen über Ätzraten und Ätzgleichmäßigkeit liefern. Durch die Überwachung von Ätzraten und Gleichmäßigkeit sind die Hersteller in der Lage, präzisere Ätzergebnisse zu erzielen, die Prozessvariabilität zu reduzieren und letztlich die Produktqualität zu verbessern. Darüber hinaus ermöglichen die In-situ-Ionen-Massenspektrometer die einfache Integration zusätzlicher Ätzrezepte, wodurch neue Materialien mit minimalen Stillstandszeiten geätzt werden können. Alliance TCP 9600 ist mit einer leistungsstarken, benutzerfreundlichen Windows- kompatiblen Software-Suite ausgestattet, die die Einrichtung und Ausführung von Ätzrezepten ermöglicht. Diese Software umfasst Datenanalysefunktionen, die eine einfache Nachverfolgung von Nutzungsdaten und Ätzergebnissen ermöglichen und Herstellern helfen, qualitativ hochwertige Ergebnisse schneller und effizienter zu erzielen. Alles in allem ist LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 Ätzer/Ascher eine hochqualitative Maschine, die hochwertiges Ätzen, eine leistungsstarke Software-Suite und Echtzeit-Überwachung für hochpräzise, zuverlässige Ätzprozesse bietet. Diese Maschine ist ideal für Hersteller, die einen Ätzer/Ascher mit hochpräzisem Ätzen und genauen Überwachungsfunktionen benötigen, mit minimalen Ausfallzeiten.