Gebraucht LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9250676 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM
ID: 9250676
Wafergröße: 8"
Poly etcher, 8" (3) Chambers.
LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM ist ein Ätzer/Ascher, der eine Reihe fortschrittlicher Halbleiterprozesse unterstützt. Es kombiniert hochwertige proprietäre Prozesssteuerungssoftware mit einem einzigartigen modularen Design, um überlegene Leistung und Präzision zu bieten. Alliance6 9400 DFM bietet eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungschemikalien. Das Gerät ist kompatibel mit CVD-, PECVD- und ALD-Technologien sowie Resist- und Ätzchemie. Es ist in der Lage, Substrate bis zu 4 "zu verarbeiten und kann Temperaturen bis zu 950 ° C erreichen. Das System bietet eine hervorragende Einheitlichkeit, Wiederholbarkeit und schnelle Zykluszeiten mit der proprietären Multi-Plane Linear FlowTec™ Exchange-Plattform, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine vielseitige Plasmaquelle/Pumpe-Kombination, die ein gleichmäßiges Plasmaätzen von Metallen und High-K-Materialien nach den Prozessrezepten des Anwenders ermöglicht. LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM ist mit einem fortschrittlichen PIC Corporation Netzteil ausgestattet und ermöglicht es Benutzern, aus einer Vielzahl von Gasen auszuwählen, was fortschrittliche Reaktorkonfigurationen für Filmabscheidungs- und Ätzprozesse ermöglicht. Die proprietäre Software der Maschine trägt dazu bei, die Variabilität bei der Herstellung von Submikron-Funktionen zu reduzieren und eine überlegene Geräteleistung zu gewährleisten. Die Software ermöglicht es Benutzern, die Prozessleistung zu überwachen, zu analysieren und zu optimieren, um Gleichmäßigkeit, Durchsatz und Ertrag genau zu steuern. Alliance6 9400 DFM ist ideal für eine Reihe von Produktionsanforderungen und die Einhaltung von Umweltvorschriften. Das Chemiemanagement-Tool sorgt für Sicherheit und Abfallreduzierung sowie die Einhaltung der SEMI S2-Anforderungen. Das Asset ist auch so konzipiert, dass es hohen Durchsatz und kostengünstigen Anforderungen entspricht. Insgesamt ist LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der höchste Leistung und Präzision bietet. Seine einzigartige modulare Konstruktion und proprietäre Software ermöglichen es Benutzern, den Prozess zu optimieren, während sein Chemiemanagementmodell Sicherheit und Einhaltung der Umweltvorschriften gewährleistet.
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