Gebraucht LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9412055 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM ist ein Modul zur Herstellung von geätzten Wafern im Fertigungsmaßstab für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Durchsatz in der Halbleiterindustrie. Alliance6 9400 DFM ist ein dediziertes Ätzmodul, das speziell für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Seitenverhältnis entwickelt wurde. Das Modul ist mit einer 3-achsigen automatisierten Wafer-Handhabung und einer hochpräzisen Mehrzonen-Plattenstufe ausgestattet. Die Konstruktion des Systems macht es für eine Vielzahl von Ätzanwendungen wie reaktives Ionenätzen (RIE), induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) Ätzen und tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE) geeignet. LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM nutzt eine hochpräzise Mehrzonen-Plattenstufe, um eine präzise Waferausrichtung zu erreichen und Batch-Ätzen und Wafer-zu-Wafer-Ausrichtung zu erleichtern. Die Platte ist in der Lage, im Mehrzonenmodus zu arbeiten, so dass mehrere Radierungen verschiedener Typen auf einem Wafer gleichzeitig möglich sind. Die fortschrittliche Wafer-Handhabungseinheit mit ihrer hohen Geschwindigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit verbessert die Leistung und betriebliche Flexibilität von Alliance6 9400 DFM weiter. Die Maschine bietet auch Echtzeit-Prozesssteuerung, Ertrags- und Laufzeitüberwachung, Datalogging, fortschrittliche fehlertolerante Software sowie Inline- und Offline-Fehlerinspektion. LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM wird von einem umfassenden Service- und Supportnetzwerk von LAM RESEARCH unterstützt, einschließlich Remote Service und präventiven Wartungsprogrammen. Das Werkzeug bietet eine zuverlässige und konsistente Leistung durch den Einsatz hochwertigster Materialien und Fertigungstechniken. Es wurde entwickelt, um Durchsatz und Ertrag zu optimieren, sodass Kunden Kosteneinsparungen und Wettbewerbsfähigkeit maximieren können. Seine fortschrittlichen Prozessfähigkeiten, flexiblen Betriebsmodi und zuverlässige Leistung machen Alliance6 9400 DFM zu einer zuverlässigen Lösung für eine Vielzahl von Anforderungen an die Halbleiterherstellung.