Gebraucht LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX #9250675 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX
ID: 9250675
Wafergröße: 8"
Poly etcher, 8" (3) Chambers.
LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX ist ein Ätzer/Ascher, der Prozesslösungen für Anwendungen anbietet, die von vollständigen Waferätz-/Ascheprozessen bis hin zu Back-End-Prozessen wie Photoresist-Strippen und Metallentfernung reichen. Alliance6 9400 PTX ist ein vielseitiger und fortschrittlicher Ätzer/Aser, der über eine einzige Prozesskammer verfügt und einen hohen Durchsatz, niedrige Kosten, Flexibilität im Prozessdesign und eine breite Palette von Prozessfähigkeiten bietet. LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX nutzt eine parallele elektrodenbetriebene induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP). Es wurde entwickelt, um eine effiziente Plasmasteuerung zu gewährleisten und eine höhere Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Prozesse zu gewährleisten. Es bietet einheitliche und saubere Ätz-/Ascheprozesse mit präziser Endpunktdetektion. Der Ätzer/Ascher besteht aus einer einzigen Prozesskammer und einem einfach zu bedienenden Touchscreen-Controller. Es wurde entwickelt, um eine bessere Prozesskontrolle und verbesserte Ausfallzeiten sowie verbesserte Wiederholbarkeit und Einheitlichkeit zu gewährleisten. Alliance6 9400 PTX ist ein zuverlässiger und stabiler Ätzer/Ascher, der die strengen weltweiten Sicherheits- und Umweltanforderungen erfüllt und für den Einsatz in Produktionssystemen sicher ist. Es wird mit einer patentierten Doppelfrequenz RF Anlageüberwachungssystem und ein äußerst fortgeschrittenes Oblatenberührensystem ausgestattet, um Mehroblatenverarbeitung zu ermöglichen. Es umfasst mehrere Prozessparameter einschließlich Substrattemperatur, Prozessgaszusammensetzung, Druck, Leistung und Strom. Alle diese Parameter können genau eingestellt werden, um optimale Ergebnisse für ein umfangreiches Spektrum von Ätz-/Ascheprozessen zu erzielen. Der Ätzer/Ascher verwendet das fortschrittlichste Softwarepaket, das eine einfache Bedienung und Optimierung der Prozessparameter ermöglicht. Insgesamt ist LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX ein vielseitiger, fortschrittlicher und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der für Hochdurchsatz- und kostengünstige Prozesse konzipiert ist. Es bietet präzise Prozesssteuerung und verbesserte Ausfallzeiten sowie verbesserte Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus erfüllt es strenge globale Sicherheits- und Umweltanforderungen, die es für Produktionssysteme sicher machen.
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