Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 480 #293652620 zu verkaufen

LAM RESEARCH Autoetch 480 ist ein Ätzer/Ascher für die Waferbearbeitung. Es ermöglicht hohen Durchsatz, robustes Ätzen und Aschen für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit Mehrkammer-Technologie kombiniert Autoetch 480 Ätzen und Aschen in einem einzigen Werkzeug. Zu den Merkmalen gehören unabhängige Massendurchflussregler für jede Kammer, digitale Druckregelung für Ätz-/Ascheselektivität und integrierte Last-/Entladeautomatisierung für verbesserte Produktivität. LAM RESEARCH Autoetch 480 wurde mit modularen Kammern entwickelt, um die Prozessflexibilität zu maximieren. Auf diese Weise können Kunden ihren Ätz- oder Ascheprozess an bestimmte Anforderungen anpassen. Die Ätzfähigkeiten umfassen: Plasmaätz-, Nassätz- und kombinierte Nass-/Trockenätzverfahren. Die Waschmöglichkeiten umfassen: Sauerstoffplasma, Fernplasma, Nassätzung und kombinierte Nass-/Trockenätzprozesse. Alle Verfahren sind mit bis zu drei Kammern erhältlich. Autoetch 480 verfügt zudem über eine fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie, die eine optimale Prozesswiederholbarkeit und -ausbeute gewährleistet. Es bietet ein einfach zu bedienendes Rezeptprogrammiersystem, das die Steuerung vereinfacht und Ausfallzeiten minimiert. Das Tool unterhält einen umfassenden Prozess-Audit-Trail mit klarer Rückverfolgbarkeit vom Bediener bis zum verwendeten Prozess. LAM RESEARCH Autoetch 480 kommt mit einer Vielzahl von Optionen und Upgrades, um die Vielseitigkeit zu erhöhen. Dazu gehören eine schnelle thermische Verarbeitung, ein breites Spektrum an Kammern, integrierte Partikelsteuerungen und Rezeptur-Programmierschnittstelle. Der Autoetch bietet auch integrationsfähige Softwaremodule, einschließlich Echtzeit-Messtechnik, Online-Überwachung und -Steuerung sowie Prozessdatenberichterstattung. Autoetch 480 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der Anwendern helfen kann, Ertrag und Prozeßwiederholbarkeit zu maximieren. Seine modulare Bauweise bietet Flexibilität und ermöglicht es, das Werkzeug auf spezifische Anforderungen zugeschnitten zu sein. Die Steuerungstechnik sorgt für optimale Prozesswiederholbarkeit und Ausbeute und die integrierten Softwaremodule bieten Echtzeitüberwachung und -steuerung. LAM RESEARCH Autoetch 480 ist eine ideale Lösung für Kunden, die ihren Ätzprozess aktualisieren möchten.