Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 490 #293652631 zu verkaufen
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ID: 293652631
Wafergröße: 6"
Etcher, 6"
Process: Oxide etch
Can be setup to run: 3" to 6"
Single-wafer process
Automated microprocessor
Cassette-to-cassette wafer process
Vacuum load locked
Programmable
Variable electrode spacing
Endpoint detection
ENI OEM-6 RF Generator
Edward vacuum pump
M and W Flowrite chiller.
LAM RESEARCH Autoetch 490 ist eine Ätz- und Ascheeinrichtung, die eine hochpräzise, programmierbare Steuerung von chemischen Prozessen und Temperaturen bietet. Dieses System ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheaufgaben mit unterschiedlichen Temperatur- und Ätzanforderungen zu übernehmen. Autoetch 490 nutzt unabhängige, automatische, computergesteuerte Steuerungssysteme für Temperatur- und Logikfunktionen, die komplexe Ätz- und Ascheszenarien mit völliger Flexibilität ermöglichen. LAM RESEARCH Autoetch 490 ist eine Premium-Werkzeugeinheit mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche und fortschrittlicher Prozesssteuerung. Es verfügt über ein integriertes 12-Zoll-Farbdisplay, mit dem Benutzer die Ätz- und Aschvorgänge deutlich sehen sowie Rezept-Parameter schnell und einfach anzeigen und anpassen können. Es kalibriert auch automatisch die Temperatur jeder Kammer und behält die Temperaturkonsistenz während des gesamten Prozesses bei und ermöglicht eine gleichmäßige Qualität der geätzten Komponenten. Die Maschine verfügt zusätzlich über eine Timer-Sequenz-Funktion, um eine präzise, konsistente Steuerung der Ätzzeit zu ermöglichen. Dieser Timer kann auch in Verbindung mit den eingebauten Grenzreglern eingesetzt werden, um den Schutz empfindlicher Substrate und Komponenten zu gewährleisten. Autoetch 490 wird durch eine interne Druckluftversorgung angetrieben, um zwei unabhängige Vakuumpumpen für präzise Ätz-, Asche- und Reinigungsvorgänge anzutreiben. Es nutzt E-Strahl- und UV-Belichtungstechnologien, um Stempel-, Bahn- und Walzen-zu-Walzen-Prozesse zu erleichtern. Das Werkzeug verfügt auch über mehrere Reinigungsfähigkeit Prozesssicherheit und Qualitätssicherung zu verbessern. Diese Reinigungsfunktionen, die einen nassreinen Prozess und einen reaktiven Gasreinigungsprozess umfassen, helfen, Zykluszeiten zu reduzieren und ermöglichen es LAM RESEARCH Autoetch 490, ein effektives Werkzeug zu sein, um hochreine Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Die hochpräzise Düseneinstellung sorgt auch für Konsistenz im Umgang mit großen Substraten, was für wiederholbare Produktqualität unerlässlich ist. Kurz gesagt, Autoetch 490 ist ein leistungsstarkes Ätz- und Aschegut, das hochwertige Ergebnisse liefert. Mit seiner benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche, fortschrittlicher Prozesssteuerung, unabhängiger Temperaturregelung, integriertem Timer und Grenzwertreglern, effizienten Reinigungsfunktionen und präzisen Düseneinstellungen ist LAM RESEARCH Autoetch 490 ein ideales Werkzeug für jede Ätz- und Ascheanwendung.
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