Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 490 #293728169 zu verkaufen

LAM RESEARCH Autoetch 490 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung für die hochpräzise Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es nutzt eine Vielzahl von Ätz- und Aschetechnologien, darunter integriertes Plasmaätzen, induktiv gekoppeltes Plasmaätzen und reaktive Ionenätzprozesse. Autoetch 490-System ist mit einer vollständig geschlossenen Kammer konfiguriert, die eine saubere Prozessumgebung bietet und es dem Gerät ermöglicht, enge Prozesswiederholbarkeit und Rezeptsteuerungsanforderungen einzuhalten. Plasmaenergie wird präzise gesteuert, um sicherzustellen, dass Ätzprozesse in hohem Maße wiederholbar sind. LAM RESEARCH Autoetch 490 kann komplexe Strukturen präzise ätzen und einzigartige Geometrieformen mit hohen Seitenverhältnissen erzeugen. Autoetch 490 umfasst eine werkseitig installierte Roboter-Wafer-Handler-Maschine, die automatisierte Wafer-Handhabung und Load-Port-Betrieb ermöglicht. Das Roboter-Handler-Tool bietet einen hohen Durchsatz und kurze Zykluszeiten und verfügt über eine dynamisch rekonfigurierbare Förderanlage für mehrere Wafergrößen. LAM RESEARCH Autoetch 490 verfügt zudem über ein Wafer-Temperiermodell, um eine optimale Ätzleistung zu gewährleisten. Die Geräte können mit einer breiten Palette von Ätzrezepten ausgestattet werden, darunter Gräben mit hohem Seitenverhältnis, komplexe Vias, Durchgangslöcher und tiefere Profile. Autoetch 490 ermöglicht auch schnelle und einfache Rezeptänderung, Rezeptparameteranpassungen und Prozessüberwachung. Das System verfügt auch über einen integrierten hochauflösenden Videoprozessmonitor für die Echtzeit-Prozessüberwachung. LAM RESEARCH Autoetch 490 bietet zudem umfassende Diagnose-, Alarm- und Rezeptmanagement-Software zur Aufrechterhaltung der Prozesskontrolle. Die Ferndiagnose- und Überwachungssoftware ermöglicht die Fernüberwachung und -steuerung der Prozessleistung. Autoetch 490 bietet Anwendern auch eine Vielzahl von Optionen für die Prozessautomatisierung, einschließlich bordeigener Rezeptverwaltung, berührungsloser Funkenerkennungseinheit, automatischer Setup-Dateien und Autorun-Fähigkeit. Insgesamt ist LAM RESEARCH Autoetch 490 eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die hochgenaue, wiederholbare Ätzprozesse bietet. Das Werkzeug enthält einen Roboter-Wafer-Handler und verschiedene Prozesssteuerungsmöglichkeiten und ist ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.