Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 490 #293811780 zu verkaufen

LAM RESEARCH Autoetch 490 ist ein Ätzer/Ascher für die Hochdurchsatzverarbeitung von hochmargen Substraten. Dieser Ätzer/Ascher ist hoch entwickelt für optimierte Leistung und hohe Produktivität. Autoetch 490 verfügt über eine Hochdruck-Prozesskammer mit hoher Kapazität und eine breite Palette von Ätzchemie-Lösungen. Die Kammer soll die Gasnutzung maximieren, während die gleichmäßigen Ätzergebnisse und die überlegene Prozessgenauigkeit durch die fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen ermöglicht werden. LAM RESEARCH Autoetch 490 wurde für den Hochleistungs- und kostengünstigen Betrieb entwickelt und kann mehrere Wafer gleichzeitig mit konsistenten ätzkritischen Anforderungen an die Größe und Prozesszeit verarbeiten. Autoetch 490 verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessoptionen, wie aktive Plattentemperaturregelung, Mehrfachgaseinlass und ein aktives Kühlsystem. Mit robusten Prozesssteuerungsfunktionen kann LAM RESEARCH Autoetch 490 Parameter in Echtzeit ändern, um die Ätzausbeute und Profilgenauigkeit zu maximieren. Autoetch 490 eignet sich gut zum Plasmaätzen, Nassätzen, Aschen, Gateoxidätzen und Seitenwandprofilätzen. Es hat eine hohe Ausbeute von 50-100% und kann sowohl mit HF- als auch mit Open Tower-Architekturen gekoppelt werden. LAM RESEARCH Autoetch 490 ist Standard mit einer 32-Bit-Windows-basierten Softwareplattform, die eine einfache Integration in bestehende Produktionsumgebungen ermöglicht. Autoetch 490 verfügt auch über Sicherheitsfunktionen, die Kontaminationen minimieren, sowie fortschrittliche Softwarelösungen für die Fehlerinspektion und Prozesskontrolle. Das System ist einfach zu bedienen, mit einem vollfarbigen LCD-Display zur Überwachung von Status und Betrieb. Die Remote-Zugriffsfunktion bietet Benutzern eine Remote-Diagnose, um sicherzustellen, dass das System optimal läuft. Insgesamt ist LAM RESEARCH Autoetch 490 ein vielseitiger, durchsatzstarker Ätzer/Ascher, mit dem hochmargenstarke Substrate präzise geätzt werden können. Mit robusten Prozesssteuerungsfunktionen, fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen und einfacher Bedienung ist dieser Ätzer eine ideale Lösung für eine Reihe von Ätzanwendungen.