Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 490 #293815927 zu verkaufen

LAM RESEARCH Autoetch 490 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die den Anforderungen einer Vielzahl von Halbleiterbauelementanwendungen gerecht wird. Das System wurde entwickelt, um Ätz-, Stripp-, Stripp- und Photoresist-Entfernung und Wafer-Oberflächenkonditionierung in einer bequemen Plattform bereitzustellen. Autoetch 490 kann sowohl flache als auch unregelmäßig geformte Substrate verarbeiten. Sein einzigartiges Design ermöglicht mehrere Ätzrezepte, die Flexibilität und ein breites Spektrum an Möglichkeiten ermöglichen. LAM RESEARCH Autoetch 490 besteht aus einer Reihe von Teilsystemen, die die für die Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten erforderliche Flexibilität bieten. Diese Systeme umfassen: eine Be-/Entladeeinheit, eine Gassteuerungsmaschine, ein Gasförderwerkzeug, einen Substrathalter und eine Ätzkammer. Das Load/Unload Asset wird verwendet, um Substrate in die Ätzkammer hinein und aus dieser heraus zu bewegen. Das Gassteuermodell dient zur Regelung des Flusses von Ätzgasen. Die Gasfördereinrichtung ist für die Zuführung der Ätzgase zur Ätzkammer verantwortlich. Der Substrathalter hält die Substrate während der Bearbeitung in der Ätzkammer, während die Ätzkammer selbst für ein gleichmäßiges Ätzen des Substrats ausgelegt ist. Autoetch 490 ist mit erweiterten Sicherheitsfunktionen wie einem Vakuumverriegelungssystem und einem Notabschalter ausgestattet. Es enthält auch eine automatisierte Rezeptsteuerung, die den Bedienern die Möglichkeit bietet, häufig verwendete Rezepte zu speichern und die Maschine effizienter zu verwalten. Darüber hinaus verfügt es über ein großes 21-Zoll-Farbdisplay, mit dem Bediener den Ätzprozess überwachen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen können. LAM RESEARCH Autoetch 490 ist in der Lage, Wafer mit Geschwindigkeiten bis 400 mm/min zu ätzen, mit bis zu 8 Ätzrezepten pro Substratcharge. Dies macht es für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet. Es ist auch mit einer Vielzahl von Ätzgasen kompatibel und eignet sich daher für komplexe Prozesse wie reaktives Ionenätzen, tiefenreaktives Ionenätzen und andere. Autoetch 490 ist ein fortschrittliches High-End-Ätz- und Aschewerkzeug, das den Anforderungen einer Vielzahl von Halbleiterbauelementanwendungen gerecht wird. Es ist in der Lage, schnell und zuverlässig Waferätzen und ist unter Berücksichtigung der Sicherheit und Benutzerfreundlichkeit der Betreiber konzipiert. Die erweiterten Funktionen und Fähigkeiten des Asset machen es zu einer idealen Wahl für komplexe Ätz- und Ascheprozesse und eine wertvolle Ergänzung zu jeder Produktionsstätte.