Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 490 #293821360 zu verkaufen

LAM RESEARCH Autoetch 490
ID: 293821360
Wafergröße: 5"
Etchers, 5".
LAM RESEARCH Autoetch 490 ist ein vollautomatisiertes Gasätzmittel und Ascher. Es ist für Halbleiterherstellungsprozesse konzipiert und kann verwendet werden, um verschiedene Materialien wie Metalle, Silizide, Oxide und Nitride chemisch zu ätzen. Es hat eine Vielzahl von Funktionen und Vorteilen, die es zu einer unschätzbaren Ressource in vielen Halbleiterproduktionsprozessen machen. Autoetch 490 ist eine programmierbare Ätzausrüstung, die zwei unabhängige einarmige, vollplenumige, berührungslose/mechanische schwenkbare Aschermaschinen zum Ätzen sequentieller Materialien umfasst. Es hat auch fünf einzelne Gasleitungen für kontrollierbare Material Ätzrezepte. Der Ätzer verfügt über ein werkseitig installiertes Spülsystem zur vollständigen Evakuierung aller Gasleitungen und bietet ein hohes Maß an Sicherheit und Prozesskontrolle. LAM RESEARCH Autoetch 490 verfügt über einen Stickstoffblasen, um freie Grundgase aus der Ätzkammer zu entfernen. Der Stickstoffbubbler umfasst auch eine Inline-Filtrationseinheit und eine Nasswaschtechnologie, um alle Partikel aus dem geätzten Material zu entfernen. Die Nasswaschtechnik hilft auch bei der Bereitstellung einer sauberen und staubfreien Arbeitsumgebung. Autoetch 490 ist für eine Vielzahl von Asche- und Ätzvorgängen konzipiert. Die Maschine kann bis zu 14 verschiedene Rezepte von Gasfolgen aufnehmen und bietet dem Endanwender eine breite Palette von Optionen zum Ätzen verschiedener Arten von Materialien. Es gibt auch eine Auto-Start-Funktion, die den Ätzzyklus basierend auf einem bestimmten Zeitzyklus startet, so dass der Endbenutzer die gewünschte Ätzrezept-Zeit einstellen kann. LAM RESEARCH Autoetch 490 ist ein kompaktes und robustes Werkzeug, das über einen geringen Platzbedarf verfügt und einfach in bestehende Geräte integriert werden kann. Damit ist sie eine ideale Lösung für enge, räumlich begrenzte Produktionsbereiche. Abschließend ist Autoetch 490 ein extrem leistungsfähiges und flexibles Gasätzmittel und Ascher. Es hat einzigartige Eigenschaften und Vorteile, die es ideal für Halbleiterherstellungsprozesse machen. Es ist vollautomatisiert, einfach zu bedienen und erfordert eine minimale Wartung.
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