Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 490 #9265329 zu verkaufen

LAM RESEARCH Autoetch 490 ist eine Ätz-/Aschemaschine, die für Plasmaätz-, Asche- und Trockenstreifenanwendungen entwickelt wurde. Das System nutzt fortschrittliche Plasmaätztechnologien, zusätzlich zur fortschrittlichen Energieversorgung, für maximale Prozessleistung. Autoetch 490 bietet hohen Durchsatz, hohe Selektivität und wiederholbare Prozessleistung. Das Gerät wurde mit proprietärer Steuerungsmaschinen-Hardware und -Software entwickelt und gebaut, um Zuverlässigkeit und Robustheit zu gewährleisten. Das Tool enthält einen planaren reaktiven Ionenätzer (RIE) und einen linearen reaktiven Ionenätzer (LRIE). Das RIE kann sowohl für das Durchlochätzen als auch für das reaktive Ionenätzen (RIE) verwendet werden. Das RIE weist einen Dreharm auf, der sich zwischen dem Wafer und der Ätz-/Nachätzfläche bewegt. Dies gewährleistet Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Ätzens. Das LRIE dient zum Trockenstreifen, Aschen und Reinigen von Proben. Das LRIE ist mit einem Vakuumfutter ausgestattet, das eine automatisch angetriebene und wiederholbare Bewegung ermöglicht. Dank seines einseitigen Reinigungskammerkonzepts wird das LRIE typischerweise für die gleichzeitige Veraschung großer Probenzahlen verwendet. LAM RESEARCH Autoetch 490 verfügt auch über eine breite Palette von fortschrittlichen Energieversorgungsmechanismen, die die Formung der Leistungswellenform zum Prozess und zum Substrat ermöglichen. Dies ermöglicht eine Kontrolle des Plasmas beim Ätzen und Aschen, wodurch die Ätz- und Aschezeiten auf das Minimum reduziert werden. Die Anlage verfügt auch über eine Vielzahl anderer Funktionen wie automatische Prozesswiederholbarkeit, Hochtemperaturätzen und automatische Spurwafertemperatur. Autoetch 490 ist ein zuverlässiges, robustes und effizientes Ätz-/Aschermodell, ideal für Labore, die nach überlegener Prozessleistung, Wiederholbarkeit und hohem Durchsatz suchen. Das Gerät ist hochgradig konfigurierbar und kann einfach eingerichtet und angepasst werden, um laborspezifische Anforderungen zu erfüllen, was eine unübertroffene Ätz- und Veraschungsleistung bietet.