Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 490B #9245067 zu verkaufen
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ID: 9245067
Automatic Plasma Etcher
Includes:
ENI OEM-6M-01 / OEM-6 XL RF Generator
M&W SYSTEMS RPCX17A-D-DI2x10-LI-CMII-HE Flowrite recirculating cooling chiller system
LAM RESEARCH 853-006117-001 Assy RF Match bulkhead
LAM RESEARCH 853-001142-001 Automatch controller
LAM RESEARCH 853-006233-001 Assy
LAM RESEARCH 853-001983-005 End point detector assy
TYLAN General AC-2 AdapTorr vacuum controller
NOR-CAL PRODUCTS 796-008091-001 Pneumatic valve
TYLAN General MDVX-015S08 Vacuum throttle valve
TYLAN General CMLB-11S01 Pressure transducer, 10 Torr
UNIT INSTRUMENTS UFC-1000 Mass flow controller, MFC, CF4, 100 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200 Mass flow controller, MFC, CHF3, 50 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, CL2, 200 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, He, 200 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, SF6, 200 SCCM.
LAM RESEARCH Autoetch 490B ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen. Es ist mit einer einzigartigen Reihe von Funktionen ausgestattet, um jedes Mal optimale Ergebnisse zu gewährleisten. Das System besteht aus einem Großrechner, einer integrierten Puffergaseinheit, einer Advanced Process Control (APC) -Einheit, einer hochauflösenden optischen Maschine und einer vertikalen Kammer. Das Mainframe ist für einen effizienten Betrieb mit einer Vielzahl von Gassystemen konzipiert, die optimale Bedingungen für Ätz- und Ascheprozesse bieten. Es ist mit einem fortschrittlichen Temperaturkonditionierer zur präzisen thermischen Steuerung und einer Hochdruckpumpe für den Hochleistungsbetrieb ausgestattet. Die integrierte Puffergaseinheit sorgt für eine genaue Vermischung von Ätz- und Aschgasen, was zu gleichmäßigem Ätzen und Aschen führt. Das Tool Advanced Process Control (APC) bietet eine Vielzahl von Funktionen, um eine optimale Prozesskontrolle zu gewährleisten. Dazu gehören Endpunkterkennung, automatisierte Substratdarstellung, einstellbare Rezeptparameter und automatisierte Substratbeladung. Darüber hinaus ermöglicht APC eine Echtzeit-Überwachung der Prozessbedingungen und automatische Anpassungen mit Datenerfassung. Autoetch 490B asset verfügt zudem über ein hochauflösendes optisches Modell zur präzisen Strukturierung. Das Gerät ist mit einer Top-of-the-Line-Beleuchtungsquelle für optimale Sichtbarkeit ausgestattet und verfügt über eine helle Lichtquelle mit hochauflösender Optik für klare Bildgebung. Es verfügt auch über ein integriertes weites Sichtfeld für erweiterte Musterfunktionen. Schließlich ist LAM RESEARCH Autoetch 490B mit einer vertikalen Kammer für einen stabilen Betrieb ausgelegt. Die Kammer ist für maximalen Wirkungsgrad ausgelegt, mit einem einheitlichen Verteilungssystem, um eine gleichmäßige Heizung und Kühlung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die Kammer über eine einstellbare Temperaturregeleinheit, um die Prozessbedingungen innerhalb enger Parameter zu halten. Insgesamt ist Autoetch 490B eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine mit einer einzigartigen Reihe von Funktionen, um jedes Mal optimale Ergebnisse zu erzielen. Mit hochauflösender Optik, integrierter Puffergaseinheit, einstellbaren Rezeptparametern, automatisierter Substratbeladung und Endpunkterkennung ist LAM RESEARCH Autoetch 490B ein zuverlässiges Werkzeug für Hochleistungs-Ätz- und Ascheprozesse.
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