Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 590 #293745368 zu verkaufen

LAM RESEARCH Autoetch 590 ist ein Ätzer und Ascher, der entwickelt wurde, um die höchste Flexibilität zu bieten, um die breite Palette von Halbleiterprozessen aufzunehmen. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung, die von 200mm Wafern bis 300mm Wafer mit einer Geschwindigkeit von bis zu 30 Wafern pro Stunde verarbeiten kann. Es bietet eine breite Palette von Prozessparametern, die eine präzise Steuerung der Prozessbedingungen ermöglichen. Autoetch 590 ist mit zwei Reaktionskammern ausgestattet, um eine gute Gleichmäßigkeit zu gewährleisten und die Prozesseffizienz zu erhöhen. Es ist in der Lage, Trockenätzprozesse wie RIE, ICP, Plasmaoxidätzen, Ätzpassivierung und Reinigung nach der Abscheidung. Es ist auch in der Lage, Naßätzprozesse, wie Ätzverfahren auf wässriger Basis, Photoresistentfernung, Säureätzen, alkalische und lösungsbasierte Ätzung. LAM RESEARCH Autoetch 590 ist in ein flexibles Gasfördersystem integriert, das je nach Prozessart sowohl ein Prozessgas als auch eine Mischgaskombination liefern kann. Autoetch 590 ist mit einer Partikelmanagementeinheit ausgestattet, die die Partikelverschmutzung reduziert und die Lebensdauer des Werkzeugs verlängert. Die automatische Wafer-Handhabung, die in die Maschine integriert ist, kann bis zu drei Kassettensteckplätze handhaben, was einen deutlich höheren Durchsatz ermöglicht und Ausfallzeiten minimiert. LAM RESEARCH Autoetch 590 verfügt auch über eine fortschrittliche Software und Überwachungsmaschine, die zur vollständigen Prozesssteuerung entwickelt wurde. Es umfasst Prozessüberwachung und Datenprotokollierung und liefert wesentliche Informationen über die Leistung des Tools. Darüber hinaus ist Autoetch 590 mit integrierten Diagnose- und Steuerungsfunktionen ausgestattet, mit denen es in ein größeres Tool integriert werden kann. LAM RESEARCH Autoetch 590 ist aufgrund seiner hohen Prozessflexibilität und fortschrittlichen Funktionalität eine kostengünstige Lösung für Halbleiterhersteller. Es ist für hohen Durchsatz und Zuverlässigkeit konzipiert und gebaut und ist das ideale Werkzeug für Halbleiterätzen und -veraschen.