Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 590 #293754142 zu verkaufen

LAM 590 ist ein hochmoderner Hochleistungsätzer/Ascher, der von der LAM Research Corporation entwickelt wurde. Es handelt sich um eine vollautomatische, programmierbare Chargenätzanlage auf Basis der reaktiven Ionenätz- (RIE) und Plasmaaschertechnologie (PA). Es ist in der Lage, eine breite Palette von Ätzprozessen und bietet außergewöhnliche Leistung, Genauigkeit und Produktivität. 590 ist so konzipiert, dass praktisch jeder Ätz- oder Ascheprozess ausgeführt wird. Es bietet eine präzise Steuerung von Ätz- oder Ascheparametern wie Druck, HF-Leistung, Durchflussrate und Tauchverhalten. Das System unterstützt eine große Prozesskammer von bis zu 40 Zoll Durchmesser, um eine ganze Palette von Wafergrößen aufzunehmen. Die Kassetten-zu-Kassetten-Handhabbarkeit des Geräts ermöglicht es, chargenweise zu arbeiten, was die Gesamtverarbeitungszeit und -kosten reduziert. Der Ätzer/Ascher ist mit einer Vielzahl von Optionen ausgestattet, um eine präzise Prozesskontrolle und Genauigkeit zu gewährleisten. Dazu gehören eine manuelle Lade- und Entladestation, eine automatisierte Höhenerfassungsmaschine, digitale Temperaturregelsysteme und ein HF-Generatorsteuermodul. Diese Merkmale ermöglichen eine präzise Steuerung des Ätz- oder Ascheprozesses, wodurch sichergestellt ist, dass die Wafer jedes Mal zuverlässig und genau bearbeitet werden. Die robusten elektrischen und mechanischen Komponenten des Werkzeugs ermöglichen es, hohen Spannungen und aggressiven Chemien standzuhalten und eine lange Lebensdauer auch bei anspruchsvollen Anwendungen zu gewährleisten. Es kommt mit einem hochauflösenden Gaspanel zur präzisen Gassteuerung und einem optischen Pyrometer zur automatischen Temperaturüberwachung. Die automatisierte mechanische Handhabung der Anlage sorgt für einen effizienten Be- und Entladevorgang. LAM 590 ist UL-, CSA- und CE-zertifiziert, so ist es sicher, an den meisten gefährlichen Orten zu verwenden. Es bietet eine ausgezeichnete Prozesskontrolle und Präzision und ist somit eine ideale Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen. Das Modell ist auch einfach zu bedienen und kostengünstig. Mit seiner hervorragenden Leistung und Genauigkeit ist es die perfekte Wahl für jeden Ätz- oder Ascheprozess.