Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 590 #293761050 zu verkaufen

ID: 293761050
Etcher, parts system.
LAM Autoetch 590 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches Hochleistungs-Ätz- und Dampfabscheidungssystem, das perfekt für mikroelektronische und andere verwandte Substrate geeignet ist. Es bietet präzise, kontrollierbare Prozesse zur schnellen, schnellen Abscheidung von Metallen, Polymeren, Oxiden und anderen Materialien auf verschiedenen Substraten. Autoetch 590 bietet eine breite Palette von Prozessoptionen, darunter eine breite Palette von SF6- und O2-basierten Plasmaätzprozessen mit Kombinationsbedingungen zur Optimierung der Prozessleistung. Es bietet auch eine Reihe von erweiterten temperaturgesteuerten Verdampfern, wie GaAs, Silizium, Gold, Silber und mehr. Die Kombination dieser beiden Werkzeuge bietet eine ideale Lösung, um eine präzise Materialabscheidung und -ätzung zu erreichen und gleichzeitig die anspruchsvollsten Merkmale der Substratverarbeitung zu bewältigen. LAM Autoetch 590 ist aus robusten Materialien gefertigt, um maximale Haltbarkeit zu gewährleisten. Die Prozesskammer besteht aus Edelstahl 304, ausgelegt für konsistente Temperatur und Druckstabilität während der Verarbeitung. Die pulverbeschichtete Stahlaußenseite bietet maximalen Schutz vor äußeren Elementen. Autoetch 590 ist auch mit automatischer Substratbeladung, unabhängiger Luftstromregelung, berührungsloser Anwesenheitserfassung, HF-erzeugten Plasmaquellen und mehrfachen Zeit- und Temperaturrezepten für jeden Reaktor ausgestattet. Dies macht es für Bediener einfach, die Ätz- und Abscheideprozesse mit minimalem Aufwand zu verwalten. LAM Autoetch 590 bietet auch spezifische Lösungen für mikroelektronische und andere verwandte Anwendungen unter Verwendung eines fortschrittlichen Adaptersystems. Dies ermöglicht eine erhöhte Flexibilität bei der Erstellung spezieller Lösungen für verschiedene Substratmaterialien, Formen und Merkmale. Schließlich verwendet Autoetch 590 ein hochempfindliches Diagnosepaket, das alle Aspekte von Ätz- und Abscheidungsprozessen überwacht. Dies sorgt für hochwertige Ergebnisse und verhindert versehentliche Schäden an empfindlichen Substraten. Insgesamt ist LAM Autoetch 590 ideal für Hochleistungsablagerungen und Ätzprozesse auf mikroelektronischen und anderen verwandten Substraten. Seine fortschrittlichen Funktionen machen es zu einem wertvollen Kapital für verschiedene Anwendungen, so dass Benutzer zuverlässige Ergebnisse erzielen und Prozessausfallzeiten reduzieren können.
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