Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 590 #293811811 zu verkaufen
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ID: 293811811
Wafergröße: 6"
Plasma etchers, 6"
PC controller
Touch Screen Monitor
(6) Gas lines.
LAM RESEARCH Autoetch 590 ist ein Ätzer und Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen. Sie ist in der Lage, Materialien von Metallen bis hin zu Keramiken und Polymeren zu verarbeiten. Autoetch 590 verfügt über eine Prozesskammer für die Handhabung von Substraten bis zu einer Größe von 7,5 „x 7,5“ (190 x 190 mm) und kann Wafer bis zu 175 mm verarbeiten. Die Ausrüstung kann ein hohes Maß an Präzision und wiederholbaren Ergebnissen erzielen und gleichzeitig Prozessvielfalt bieten. LAM RESEARCH Autoetch 590 nutzt eine breite Palette von Ätzprozessen, darunter Dry Etch, Wet Etch, Plasmaetch, Ash und Dip Etch. Die Ätzzeiten und Leistungsparameter können mit Autoetch 590 fein gesteuert werden, was eine einheitliche Prozesssteuerung ermöglicht. LAM RESEARCH Autoetch 590 verfügt über ein vollständig integriertes automatisches Ladesystem, das wiederholbare Prozessausrichtung und Prozessergebnisse ermöglicht. Autoetch 590 Betriebsparameter, Toleranzen und Rezepte sind einfach einzurichten und zu programmieren, um eine optimale Einheitenleistung zu gewährleisten. LAM RESEARCH Autoetch 590 enthält eine Echtzeit-Statusanzeige, die eine Fehlerbehebung oder Optimierung des Prozesses ermöglicht, ohne dass der Prozess unterbrochen werden muss. Autoetch 590 enthält auch einen HF-Generator und eine Stromversorgung, die für eine Vielzahl von Substraten eingerichtet werden kann. Die HF-Funktion trägt dazu bei, die Kontamination des Prozessbereichs beim Ätzen zu minimieren. LAM RESEARCH Autoetch 590 enthält einen fortschrittlichen Prozessmonitor, der die Ergebnisse des Ätzprozesses verfolgen und überprüfen kann, ob die gewünschten Parameter erfüllt sind. Autoetch 590 bietet auch Fernbedienungsfunktionen, so dass die Maschine von einem entfernten Standort aus bedient werden kann. LAM RESEARCH Autoetch 590 ist kompatibel mit einer Vielzahl von Betriebssystemen, einschließlich Windows, Mac und Linux. Das Tool ist zertifiziert, um eine Vielzahl von Sicherheits- und Umweltanforderungen zu erfüllen, einschließlich SEMI E34, IEC 60601-1-1 und UL 698A. Insgesamt ist Autoetch 590 ein branchenführender Ätzer und Ascher, der in der Lage ist, hochpräzise Ätzergebnisse zu liefern und gleichzeitig Prozessvielfalt zu bieten. Das fortschrittliche Betriebsmittel und das integrierte automatische Lademodell machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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