Gebraucht LAM RESEARCH Autoetch 590 #9201785 zu verkaufen

ID: 9201785
Wafergröße: 4"-6"
Plasma etchers, 4"-6" PC Controller with touch screen monitor (6) Gas lines With 5 MFC ENI OEM-12A RF Generator Motorized wafer ARM movement with controller.
LAM RESEARCH Autoetch 590 ist ein hochmoderner Plasmaascher und Ätzer. Die neuartige thermische Verarbeitungstechnologie liefert gleichbleibend hochwertige Ätz- und Plasmabehandlungen in einem breiten Spektrum von Prozessanwendungen. Autoetch 590 verfügt über ein integriertes Ätz-/Plasmasystem, das einen größeren Durchsatz und einen geringeren Platzbedarf für Ätz- und Plasmaoperationen bietet. LAM RESEARCH Autoetch 590 ist in der Lage, Flachbildschirme und große Substrate mit hochauflösendem Ätzen und gleichmäßigen Plasmabehandlungen über den gesamten Substratbereich zu verarbeiten. Mit einer Prozesskammergröße von bis zu 12 Zoll (30 cm) und einer maximalen Substratgröße von 10,4 Zoll (26 cm) bietet es maximale Flexibilität für große Bereiche. Das Gerät bietet auch Kompatibilität mit einer breiten Palette von Standard-Industrie Ätzen und Plasma Chemie und Lösungsmittel. Autoetch 590 ist mit einer integrierten Steuerung ausgestattet, die eine präzise Steuerung und Überwachung aller Ätz- und Plasmaprozesse ermöglicht. Der Controller enthält eine ganze Reihe von Prozessparametereinstellungen, um eine maximale Prozessoptimierung zu gewährleisten. Es verfügt auch über mehrere automatische Sicherheitsfunktionen, die Sicherheit und Zuverlässigkeit im Einsatz und Betrieb gewährleisten. LAM RESEARCH Autoetch 590 ist für eine einfache Wartung ausgelegt, wobei alle Komponenten von der Oberseite des Geräts aus zugänglich sind. Standardwartungsaufgaben wie Filteränderungen können ohne Werkzeug erledigt werden. Das Gerät verfügt über ein einstellbares Gasdurchflussventil und einen Partikelzähler, so dass Benutzer den Gasfluss für präzise Ergebnisse optimieren können. Autoetch 590 ist mit einem automatisierten Überwachungssystem ausgestattet, das Prozessparameter in Echtzeit verfolgt und aufzeichnet. Auf diese Weise können Operatoren den Status des Prozesses besser beurteilen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen. Mit einer Reihe von integrierten Funktionen kann LAM RESEARCH Autoetch 590 von jedem PC mit Internetverbindung aus ferngesteuert werden. Insgesamt bietet Autoetch 590 einen effizienten, zuverlässigen und vielseitigen Plasmaascher und Ätzer für ein breites Spektrum an Display- und Solaranwendungen. Mit überlegener Steuerung, präziser Prozessoptimierung und einfacher Wartung ist LAM RESEARCH Autoetch 590 das ideale Werkzeug für hochwertige Ätz- und Plasmaoperationen.
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