Gebraucht LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX #9240243 zu verkaufen

LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer und Ascher für die Halbleiterindustrie. Es bietet ein präzises und zuverlässiges Ätzen und Aschen verschiedener Materialien für eine Vielzahl von Geräteanwendungen. Eine automatisierte EDV-Steuerung übernimmt Prozessaufbau, Koordination, Rezeptentwicklung und Datenerfassung für optimierte Produktionsergebnisse. Diese Kammer verfügt über ein vollautomatisches Exelan Flex FX-Verfahren, das eine breite Palette von wählbaren Bedingungen für das Ätzen und Aschen bietet und eine überlegene Prozesskontrolle bei minimalem menschlichen Eingriff ermöglicht. Das System arbeitet in einer Vielzahl von Kammergrößen von 2 bis 8 Fuß Breite und verfügt über eine TiN/TiCN (Titannitrid/Titancarbonitrid) plattierte Kammer, um eine überlegene Ätzselektivität und Prozessstabilität zu gewährleisten. Das Gerät ist auch mit einer vielseitigen geschlossenen Clamshell-Geometrie ausgestattet, die das Risiko von Partikelverunreinigungen reduziert und gleichzeitig einen verbesserten Prozesszugang und eine verbesserte Wärmedämmung ermöglicht. Diese Kammer bietet auch eine fortschrittliche Prozessüberwachung und -steuerung. Ein mehrkanaliger Quarzkristall-HF-Leistungsmonitor ist zusammen mit einem HF-Spannungs-, Temperatur-, Druck- und zweiachsigen Druckaufzeichnungsgerät installiert. Darüber hinaus umfasst der Exelan Flex FX zwei Gasquellen zur unabhängigen HF- und DC-Vorspannung, die eine Prozessabstimmung für maximale Ätzselektivität und eine verbesserte Produktion ermöglichen. Außerdem ist ein automatisierter Roboterlader/Entlader installiert, der schnelle Umlaufzeiten für jede geladene oder entladene Charge bietet. Die Kammer ist für eine Vielzahl von Prozessrezepten und -optionen konzipiert, einschließlich des Ätzens verschiedener Materialien wie Silizium, Siliziumoxid, Siliziumnitrid und Metalle. Der modulare Aufbau der Kammer und die integrierten Werkzeuge ermöglichen eine schnelle und effiziente Abstimmung, um die optimalen Prozessergebnisse für jede Anwendung zu erzielen. Darüber hinaus ist die Maschine kompatibel mit einer Vielzahl von Chargentypen, einschließlich einzelner Wafer, bis zu kleinen Wafer-Chargen von 800 -150mm. Kammer für 2300 Exelan Flex FX ist ein außergewöhnlich fortschrittlicher, zuverlässiger und vielseitiger Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Seine erweiterten Funktionen bieten Anwendern maximale Kontrolle und Flexibilität für hervorragende Prozessergebnisse.