Gebraucht LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45 #293609001 zu verkaufen

Die LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45 ist ein Ätzer/Ascher für die Halbleiterwaferbearbeitung. Es ist in der Lage, bis zu 200 Wafer gleichzeitig sicher zu beladen und ist mit einem patentierten Gaskontrollgerät für verbesserte Effizienz und Genauigkeit ausgestattet. Dieses System bietet eine einheitliche und konsistente Prozessumgebung über alle Verarbeitungsmodule hinweg, so dass die Produktqualität konsistent und zuverlässig ist. Die Kammer bietet auch schnelle Drehung, mit Wafer-Bearbeitungszeiten so niedrig wie 4 Minuten für einige Wafer. Das Kammerdesign des Kiyo 45 hilft, die innere Umwelt zu schützen und Kontaminationen zu reduzieren. Eine unabhängige Luftfiltrationseinheit ist im Lieferumfang enthalten, um eine saubere Atmosphäre zu gewährleisten und die Partikel auf ein Minimum zu beschränken. Die Kammer weist ferner eine Reihe von Sicherheitselementen auf, wie eine Gaslecksuchmaschine, ein Brandmeldewerkzeug und ein Notabsperrventil. Der Kiyo 45 hat sowohl eine manuelle als auch eine automatische Betriebsart. Im manuellen Modus können Benutzer direkt über die Benutzeroberfläche auf dem Bildschirm auf die Funktionen der Kammer wie Temperatur- und Druckeinstellungen und Prozessparameter zugreifen. Im Automatikbetrieb wird die Kammer auf die bordeigene Automatisierungsanlage programmiert und überwacht, um die Prozesssteuerung und Effizienz zu verbessern. Der Kiyo 45 ist mit einem Trockentransistor-Plasmagenerator und einem fortschrittlichen Gasstrahl-Liefermodell ausgestattet. Dies ermöglicht ein genaues und schnelles Ätzen in einer Niederdruck- und Tieftemperaturumgebung. Die Gasstrahlabgabeeinrichtung steuert und automatisiert das Gasgemisch und die Durchflussraten fein und sorgt für eine höhere Auflösung und Wiederholbarkeit. Das fortschrittliche Temperaturkontrollsystem des Kiyo 45 wurde entwickelt, um eine optimale Leistung des nassen Prozesses zu gewährleisten, was zu einer verbesserten Folienqualität führt. Die Kammer ist auch in der Lage, alle mit jedem Wafer und Prozess verbundenen Daten zu speichern, so dass Benutzer den Waferverlauf verfolgen und statistische und diagnostische Auswertungen vornehmen können. Der Kiyo 45 ist extrem vielseitig einsetzbar und kann alle Arten von Anwendungen wie chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), chemische Dampfabscheidung (CVD) und Ätzen und Aschen angehen. Als solches ist es ein wesentliches Bauelement für die Halbleiterindustrie. Es ist zuverlässig, hocheffizient und bietet hervorragende Qualität und Prozesswiederholbarkeit.