Gebraucht LAM RESEARCH Chambers for 2300 Exelan Flex #9393585 zu verkaufen

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex Etcher/Asher wurde mit fortschrittlichen Ätz- und Aschetechniken entwickelt. Diese innovative Kammer von LAM RESEARCH bietet maximale Prozessabdeckung und Flexibilität bei Nass- und Trockenätz- und Ascheprozessen. Diese Kammer umfasst fortschrittliche Technologie wie dreidimensionales Plasma, das kryogenes Ätzen und Desmear, tiefes reaktives Ionenätzen und Plasmaaschen unterstützt. Es verfügt auch über eine automatisierte Prozesstür, die einen schnellen und einfachen Zugang zu Proben ohne manuelle Ausrichtung gewährleistet. Die Kammer weist außerdem einen niedrigen Torr von 75 und einen Druckbereich von 1 bis 2-Torr auf. Das 2300EXP ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, die die Prozessausbeute maximieren und Ausfallzeiten reduzieren sollen. Zu den Merkmalen gehören eine Gleichmäßigkeitskontrolle, die gleichmäßige Prozesse über großflächige Substrate hinweg gewährleistet, und eine Prozessabgasanlage, die eine schnelle Entlüftung der Kammer auf den gewünschten Druck ermöglicht, sobald der Wafer acht. Zu den Eigenschaften des 2300 Exelan Flex gehören auch ein Metalldichtschlauchanschluss, eine inerte Filmheizung, eine mehrarmige elektrostatische Spannung und die Möglichkeit für kryogene Prozesse. Es verfügt über eine automatische einziehbare Armstütze, eine Inertgasplatte, automatische Gasventile und einen Wafer-Ausrichtkuchen. Die Kammer umfasst auch automatisierte Gas-, Plasma- und Wafer-Handhabungssysteme, die eine schnelle und effiziente Prozessabwicklung ermöglichen. Ein integriertes Prozessüberwachungssystem ermöglicht die Fehlerüberprüfung und kann Ätz- und Ascheraten-Schwankungen und Prozessinstabilitäten erkennen. Proben können auch vor Abschluss auf Unregelmäßigkeiten oder Mängel überwacht und überprüft werden. Die gesamte Kammergröße beträgt 26 "w x 32" d x 35 "h und die Kammer hat die Fähigkeit, acht 2" Wafer oder vier 4 "Wafer zu bearbeiten. Es ist kompatibel mit vielen verschiedenen Plasmaquellen, einschließlich induktiv gekoppelten Plasmen, Hochfrequenz und Bias-Plasmen. Der gesamte Gaseintrag der Kammer beträgt 1,4 Liter/Minute. Insgesamt ist der 2300 Exelan Flex von LAM RESEARCH ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der Flexibilität und Vielseitigkeit mit zuverlässiger und konsistenter Prozesssteuerung kombiniert. Diese Einheit kann eine breite Palette von Ätz- und Ascherezepten aufnehmen und bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit für mehrstufige Prozesse des Nass- und Trockenätzens und Aschens.