Gebraucht LAM RESEARCH / DRYTEK 384T AMN #9386131 zu verkaufen

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T AMN dry etcher/asher ist ein Werkzeug, das speziell für Anwendungen entwickelt wurde, die ein präzises Ätzen und gleichzeitiges Aschen mehrerer Schichten erfordern. Dieses Gerät ist in der Lage, hohe Ätz- und Ascheraten mit hoher Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Schichtsicherheit zu erzeugen. Es bietet Ätz- und Aschefunktionen in kompakter und zuverlässiger Bauweise. DRYTEK 384T AMN nutzt ein dreistufiges Plasmaquellendesign zum Ätzen und Aschen. Diese Konstruktion besteht aus einem HF-Generator, einer hochdichten Plasmaquelle und einer Vakuumausrüstung. Der Generator ist in der Lage, bis zu 8.000 Watt Leistung bereitzustellen, was hohe Ätz- und Ascheraten ermöglicht. Die hochdichte Plasmaquelle liefert eine gleichmäßige, wiederholbare Ätzung, die eine Granularitätskontrolle über den Ätzvorgang ermöglicht. Das Vakuumsystem ist in der Lage, einen Basisdruck von unter 1 mTorr zu erreichen, wodurch eine saubere, trockene Ätz-/Ascheumgebung entsteht. LAM RESEARCH 384T AMN nutzt auch eine Kammerdesign, die in der Lage ist, thermische Zyklen des Ätzprozesses. Dies ermöglicht eine verbesserte Leistung und Zuverlässigkeit des Ätzes. Zusätzlich enthält die Kammer eine magnetrechte Anordnung zur erhöhten hochdichten Plasmaerzeugung und überlegener Prozessgleichförmigkeit. Die Kammer ist ferner mit einem Quarzwaferboot, das für eine schnelle thermische Taktung wesentlich ist, und einem Gasverteilerkrümmer ausgestattet, der in der Lage ist, den Gasdurchfluss für ein präzises, wiederholbares Ätzen und Aschen genau zu steuern. 384T AMN-Einheit ist mit einer Vielzahl von Prozesswerkzeugen wie einer Endpunkterkennungsmaschine, einem Diagnosegaseinspritzwerkzeug, einem Interlock-Asset und einem Plasmaquellen-Überwachungsmodell ausgestattet. Diese Tools ermöglichen eine verbesserte Prozesskontrolle und ermöglichen es dem Ätzer/Ascher, einheitliche und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Abschließend ist LAM RESEARCH/DRYTEK 384T AMN dry etcher/asher ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug zum gleichzeitigen Ätzen und Aschen mehrerer Schichten. Es verwendet ein dreistufiges Plasmaquellendesign, ein Kammerdesign, das zum thermischen Zyklen fähig ist, und eine breite Palette von Prozesswerkzeugen, um präzises Ätzen und Aschen zu ermöglichen. All diese Funktionen machen es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen.