Gebraucht LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9036715 zu verkaufen

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T ist eine Ätz-/Aschereinrichtung zur Herstellung von Halbleiterbauelementschichten. Es ist eine voll ausgestattete Etcher/Asher-Plattform mit einer Benutzeroberfläche, die einen einfachen Zugriff auf die verschiedenen Funktionen des Systems ermöglicht. Diese Einheit kann unter verschiedenen Winkeln im Bereich von 0 Grad bis 45 Grad geätzt werden, um eine maximale Selektivität zwischen den verschiedenen Prozessschritten zu gewährleisten. Darüber hinaus ist es in der Lage, eine Prozessrate von bis zu 100 nm/min aufgrund seiner fortschrittlichen Technologie zu erreichen, die einen Hochleistungs-Batch-Mikrowellengenerator, einen hochauflösenden Endpunktdetektor und eine automatische Rezeptsteuerungsmaschine umfasst. Durch den hochauflösenden Endpunktdetektor, mit dem das Werkzeug ausgestattet ist, kann der Ätzprozess für Geräteanforderungen weiter optimiert werden. DRYTEK 384T wurde entwickelt, um effektive Kanäle im Bereich von 150-300 mm in der Breite zu bilden. Es ist auch in der Lage, ein Seitenverhältnis von bis zu 50:1 zu erreichen, was das Ätzen von Submikron-Merkmalen und dielektrischen Schichten mit ausgezeichneter Form und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das Asset drei Prozesskammern, die jeweils unterschiedliche Fähigkeiten bieten. Die erste Kammer betrifft die Abscheidungssteuerung und weist einen Mechanismus zur effizienten Abscheidung von Photolack zusammen mit Targetmaterialien auf. Die zweite und die dritte Kammer sind ausschließlich zum Ätzen und Polieren der Wafer bestimmt. Die dritte Kammer dient zur Reinigung der Wafer nach dem Ätzvorgang. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH 384T über zwei fortschrittliche Plasmaquellen, die eine zusätzliche Vielseitigkeit im Ätzprozess bieten. Darüber hinaus bietet dieses Modell auch verschiedene Funktionen, um die Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten. Eine Prozesskammer ist mit einer Kühlmitteleinrichtung ausgestattet, die die Kammer auf einer konstanten Temperatur hält. Außerdem verhindern mehrere Tore und Abschirmungen eine mögliche Belichtung der flüchtigen Gase der Prozesskammer. Darüber hinaus umfasst 384T mehrere Sicherheitsschlösser und einen Hochgeschwindigkeits-Gasvorhang, um die Betreiber und anderes Personal vor gefährlichen Gasen zu schützen. Insgesamt ist LAM RESEARCH/DRYTEK 384T eine ausgezeichnete Ätz-/Ascher-Plattform für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist dank seiner Vielseitigkeit, Effizienz und Sicherheit eine ideale Wahl für Forscher und Experimentalisten.