Gebraucht LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9384902 zu verkaufen
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ID: 9384902
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Triode plasma etch systems, 6", part system
Chamber
1995 vintage.
LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher ist eine leistungsstarke, hochproduktive Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zum Ätzen und Aschen von Hartstoffen wie Metall und Silizium eingesetzt wird. Dieses System ist für zuverlässige, wiederholbare Prozesse ausgelegt, die für die Herstellung einer optimalen Geräteleistung notwendig sind. DRYTEK 384T ist eine Einzelwaferätzeinheit, die eine Kombination aus einem thermischen Hochfluss- und Plasmaätzverfahren verwendet, um gewünschte Geräteeigenschaften zu erreichen. Die Maschine kann Ätz- und Ascheraten bis zu fünfmal schneller liefern als andere Systeme, was einen erhöhten Durchsatz und eine verbesserte Kosteneffizienz ermöglicht. Die Kammer ist für eine effiziente Wärmeableitung ausgelegt und nutzt eine Kombination aus Wärmedämmung, Wärmebelastungsmanagement und Prozessdichtungstechnologien. Das Tool bietet auch eine Reihe von Prozessanpassungsmöglichkeiten, einschließlich der Möglichkeit, eine breite Palette von Materialien in verschiedenen Geometrien zu ätzen, so dass es für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen geeignet ist. LAM RESEARCH 384T asset ist zudem mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einem Ozonwäscher, einem Sauerstoffwäscher und einem Stickstoffwäscher sowie einem In-situ-Gasmonitor, um eine optimale Sicherheit und Umweltleistung zu gewährleisten. Das Modell bietet auch eine Vielzahl von erweiterten Steuerungsfunktionen, wie ein modernes Druckregelgerät, ein In-situ-Zeit- und Temperaturprotokoll, ein automatisches Abschaltsystem, eine Autostart-Fähigkeit, eine Durchflussregeleinheit und eine rezeptbasierte Steuerungsmaschine. Diese Kombination fortschrittlicher Funktionen ermöglicht eine verbesserte Prozesssteuerung und Optimierung, wodurch das Werkzeug für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet ist. Darüber hinaus ist 384T extrem energieeffizient und verbraucht bis zu 25% weniger Energie als andere vergleichbare Systeme, was die Betriebskosten und die Umweltbelastung erheblich senkt. Insgesamt ist LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher eine robuste, leistungsstarke Lösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen mit verbessertem Durchsatz, kundenspezifischer Prozesssteuerung und Energieeffizienz.
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