Gebraucht LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100 #293645358 zu verkaufen

LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100
ID: 293645358
Dielectric etcher.
LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100 ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde und erweiterte Ätz- und Aschefunktionen für Einzelwafer- und Batch-Prozesse bietet. Die Ausrüstung verfügt über eine große Kathodenfläche und Hochdruck, Hochpuls-Entladung Fähigkeit, überlegene Ätzrate Konsistenz, Ätztiefe Kontrolle und mechanische Kühlung für anspruchsvolle hohe Temperatur und abrasive Materialien zur Verfügung zu stellen. Der leistungsstarke Generator und die Stromversorgung des Systems ermöglichen es Benutzern, die Ätzparameter auf hohe Präzision und Flexibilität einzustellen. DRYTEK DRIE-100 verwendet fortgeschrittene reaktive Ionenätz- und Aschetechniken, die es Anwendern ermöglichen, Materialien in extrem geringen Tiefen zu ätzen und zu aschen, wobei das Substrat minimal beschädigt wird. Eine Bordgasfördereinheit ist ebenfalls enthalten, die eine wiederholbare Durchfluss- und rezeptbasierte Chemikaliensteuerung bietet. Weitere Funktionen umfassen fortschrittliche zweidimensionale Jet-Flow-Mustertechnologie, hochpräzise In-situ-Endpunktsteuerung, umfassende Prozessüberwachung, automatisiertes Wafer-Substrat-Level-Vakuum und die Fähigkeit, das Kammervakuum zu überwachen und zu steuern. LAM RESEARCH DRIE-100 umfasst eine Reihe von fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen, einschließlich eingebauter Druckregulierung, Operator Access Door mit Luftschloss, Abgasfiltration und anspruchsvolle Lecksuche. Die Maschine ist auch nach den Normen UL, CE und SiaCG für Gesundheit und Sicherheit zertifiziert. Insgesamt ist DRIE-100 ein fortschrittliches und zuverlässiges Ätz-/Ascher-Tool, das überlegene Leistung und erhöhte Prozessflexibilität bietet. Seine vielfältigen Sicherheitsmerkmale machen es für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterprozessen geeignet. Die einstellbaren Ätzparameter des Vermögenswertes ermöglichen eine präzise Steuerung und eignen sich somit perfekt für spezialisierte Ätz- und Veraschungsanforderungen.
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