Gebraucht LAM RESEARCH / DRYTEK MS-6 #144520 zu verkaufen

LAM RESEARCH/DRYTEK MS-6 ist ein Ätz-/Aschersystem für Verfahren wie Ätzen und Reinigen von Halbleitersubstraten. Es ist ein vollständig integriertes System, das zwei separate Kammern zum Ätzen und Reinigen umfasst, so dass der Bediener beide Prozesse im gleichen Lauf durchführen kann. Das Ätzverfahren verwendet ein Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Mikrowellenplasma, um ein hochdichtes Plasma reaktiver Spezies zu erzeugen, das eine Vielzahl von Substraten ätzen kann. Das System nutzt eine spezielle HF-Vorspannung, die den Ätzprozess durch Erhöhung der Ionenenergie verbessert und gleichzeitig eine hohe Selektivität ermöglicht. Das Waschverfahren nutzt sowohl Standard- als auch Hochdruck-naßchemische Optionen, einschließlich Propylenglykol, KOH und TMAH, um Substrate von unerwünschten Materialien zu reinigen. Der Reinigungsprozess ist sehr spezialisiert, um die Oberflächenverschmutzung von Substraten und dem Werkstück zu reduzieren. DRYTEK MS-6 bietet überlegene Zuverlässigkeit und Leistung, die ein präzises Ätzen und Reinigen von Substraten ermöglicht. Es ist auch in der Lage, über eine Vielzahl von Prozessparametern zu arbeiten, um eine feine Kontrolle über Ätz- und Reinigungsprozesse zu gewährleisten. Darüber hinaus kann LAM RESEARCH MS 6 in einer Vielzahl von Kombinationsprozessen wie einer isotropen Ätzung, Nachsputterung und Passivierung durch den Mehrkammeraufbau eingesetzt werden. Sein modularer Ansatz bietet Anwendern Flexibilität und eine breite Palette geeigneter Materialien für die Verarbeitung. Darüber hinaus bietet MS-6 im Vergleich zu manuellen naßchemischen Prozessen eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit und lässt sich problemlos in Produktionssysteme integrieren. Durch die höchste Leistung zu einem wettbewerbsfähigen Preis ist LAM RESEARCH MS-6 eines der besten heute erhältlichen Ätz-/Aschersysteme.