Gebraucht LAM RESEARCH / DRYTEK PS-80 #188465 zu verkaufen

LAM RESEARCH/DRYTEK PS-80 Ätz- und Aschermaschinen sind eines der vielseitigsten und fortschrittlichsten Werkzeuge für Ätz- und Ascheanwendungen. Es wurde entwickelt, um zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit zu liefern. Das System bietet genaues Ätzen und Aschen über hohe Temperaturen, hohe Leistung und präzise Steuerung von Parametern. DRYTEK PS-80 enthält einen Hochfrequenz-HF-Generator zum Präzisionsätzen und Aschen sowie eine Plasmakammer mit automatischer Tür und kundenspezifischem Skid. Der HF-Generator kann auf variable Leistungsstufen eingestellt werden und kann Temperaturen von bis zu 600 ° C erreichen. Das Druckniveau kann auch manuell eingestellt werden und bietet einen einstellbaren Bereich von 0 - 600 mTorr. Die PR-Einheit ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte für das Ätzen anzupassen, und enthält eine Vielzahl von erweiterten Sicherheitsfunktionen. Die Maschine verfügt über ein Kammervakuumwerkzeug mit einer Turbo-Molekularpumpe und einer 100-Liter-Ionenpumpe pro Sekunde. Dies ermöglicht eine ausgezeichnete Pumpgeschwindigkeit und Luftabfuhr innerhalb der Kammer, was ein präzises Ätzen und Aschen ermöglicht. LAM RESEARCH PS-80 enthält auch einen Hochdruckstoßgenerator, mit dem voreingestellte Prozessrezepte verwendet werden können, ohne dass die Einstellungen manuell geändert werden müssen. Zusätzlich enthält die Anlage eine optionale Ladeschloßkammer, die die Übertragung eines Probenschachtes ermöglicht, ohne es freizulassen. Zur Isolierung und Evakuierung des Plasmas umfasst PS-80 ein zweistufiges automatisiertes Vakuummodell und eine Oxid- Agnostic™ Plasmaquelle. Dies sorgt für einen präziseren Ätz- und Ascheprozess mit verbesserter Gleichmäßigkeit und macht es einfacher und schneller, Rezepte und Prozessparameter zu ändern. LAM RESEARCH/DRYTEK PS-80 umfasst auch eine chemische Abgabeeinrichtung, die eine präzise Kontrolle von Reaktanden für gleichmäßige und präzise Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. DRYTEK PS-80 Ätz- und Aschensystem ist ein ideales Werkzeug für Anwendungen, die präzises Ätzen und Aschen erfordern. Es bietet Anwendern eine verbesserte Kontrolle über die verwendeten Parameter und ist in der Lage, Temperaturen von bis zu 600 ° C zu erreichen. Darüber hinaus enthält das Gerät eine Vielzahl fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen, die präzise Ergebnisse mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit liefern.