Gebraucht LAM RESEARCH / DRYTEK Quad #9038448 zu verkaufen

LAM RESEARCH/DRYTEK Quad ist eine hochmoderne Ätz- und Aschemaschine, die in der Dünnschichtabscheidung und Photolithographie eingesetzt wird. Das System besteht aus vier Kammern mit jeweils einer unabhängigen Plasmaquelle. Die Kammern arbeiten im Tandem und ermöglichen das gleichzeitige Ätzen und/oder Aschen mehrerer Filme. Dieses Verfahren ist ideal für die Dünnschichtabscheidung und ermöglicht zukünftige Fortschritte in der Photolithographie auf der Basis der optischen Mikrostrukturherstellung. Die erste Kammer dient in erster Linie dem Ätzen auf Sauerstoffbasis. Es besteht aus einer Edelstahlkathode und einer Quarzanode. Die Kathode wird mit einer einstellbaren Gleichspannung versorgt, die zur Steuerung des Prozesses von der Frontplatte aus verwaltet werden kann. Ein HF-Generator versorgt die Quarzanode, deren Funktion darin besteht, ein sauerstoffreiches Plasma zu erzeugen und eine gleichmäßige Ätzrate zu gewährleisten. Die zweite und dritte Kammer dienen beide zum Aschen, die dritte weist jedoch auch eine einstellbare Kathode auf. Die dritte und vierte Kammer weisen gleichermaßen eine Kohlenstoffquelle auf, die mit einem Massenstromregler in ihre abgedichteten Plasmen eingespritzt wird. Die vierte Kammer ist zum Ätzen ausgebildet und liefert während des Prozesses zusätzlich eine Quarzabdeckung. Dies macht die gesamte Einheit extrem sicher und fördert die Konnektivität und Kompatibilität mit den anderen Kammern. Die Maschine verfügt auch über eine programmierbare Logiksteuerung (SPS), die zur Einstellung der Ionenenergien und der Durchflussrate der in jeder der Kammern verwendeten Gase verwendet wird. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätz- und Ascheprozesse, die für optoelektronische Anwendungen unerlässlich sind. Schließlich ist das Tool vollständig computergesteuert und ermöglicht eine detaillierte rezeptbasierte Automatisierung. Dies ermöglicht eine höhere Wiederholbarkeit sowie die Möglichkeit, jede Operation in Echtzeit zu überwachen. Abschließend ist DRYTEK Quad ein vielseitiges und leistungsstarkes Etcher- und Asher-Asset. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einem idealen Werkzeug für Dünnfilmabscheidung und Photolithographie-Verarbeitung. Die Flexibilität der SPS kombiniert mit der präzisen Steuerung durch die einstellbaren Kathoden und die Quarzverkleidung macht das Modell zu einem wertvollen Vorteil in jedem optoelektronischen Labor.