Gebraucht LAM RESEARCH EOS #293638918 zu verkaufen

LAM RESEARCH EOS ist ein Ätzer/Ascher, der sich auf tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE) und Siliziumätzen spezialisiert hat. Diese fortschrittliche Ausrüstung ist mit der neuesten Technologie entwickelt, um Präzision und Wiederholbarkeit seiner trockenen Ätzprozesse zu gewährleisten. Es bietet eine breite Palette von Ätzoptionen in modularer Bauweise, die eine Anpassung des Systems für optimale Prozessleistung und Skalierbarkeit für die Prozessentwicklung ermöglicht. EOS besteht aus einer HF-Quelle mit variabler Frequenz, die bis zu 13MHz, unabhängige Förderkanäle mit variabler Durchflussrate und einen Multi-Bias-Controller für variable Vorspannung und Behandlungsdauer betreibt. Es liefert gleichbleibend hochwertige Ätzergebnisse für verschiedene Anwendungen wie MEMS, CMOS und Silizium-on-Isolator (SOI). LAM RESEARCH EOS ist in einer herkömmlichen Reverse-Flow-Konfiguration mit reflektierender Ätzung konfiguriert und verfügt über ein fortschrittliches Käfig-Design mit einer planaren Rückwand, die schnelle und effektive Ätzungen bietet. EOS verfügt außerdem über eine patentierte, selbstjustierende Halterung und einen Substrateinsteller, um Substrate in der optimalen Ebene innerhalb der Ätzkammer zu positionieren. Dadurch wird sichergestellt, dass jedes Substrat und jede Schicht gleichmäßig behandelt wird und manuelle Eingriffe entfallen. Darüber hinaus ist das System mit einem eingebauten HF-Hohlraum ausgestattet, der stehende Wellenprobleme beseitigt und die Variabilität im Ätzprozess verringert. Die erweiterten Funktionen von LAM RESEARCH EOS zur Prozesssteuerung und -überwachung bieten Anwendern eine vollständige Prozesssteuerung und Automatisierung, um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Der Controller ermöglicht es Benutzern, jedes Ätzkammerrezept separat zu programmieren und zu überwachen, während die adaptive HF-Tuning-Funktion eine einheitliche HF-Energieverteilung bietet, um eine optimale Ätzleistung zu gewährleisten. Es können Konstant- und Pulsmodusätzungen sowie Mehrkammerbetriebe programmiert werden. Insgesamt ist EOS etcher/asher ein hochpräziser, digital gesteuerter Ätzer, der mit fortschrittlicher Technologie ausgestattet ist, um wiederholbare Ergebnisse für viele Ätzanwendungen zu gewährleisten. Mit HF-Quellen mit variabler Frequenz und Multi-Bias-Controllern bietet LAM RESEARCH EOS Anwendern eine komplette Prozessautomatisierung, die eine kundenspezifische Prozessentwicklung ermöglicht. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen wie selbstjustierenden Halterungen und Substrateinstellern, kontrollierter HF-Verteilung und seiner Fähigkeit, mehrere Kammerbetriebe auszuführen, ist EOS eine ideale Lösung für hochgenaue Ätzprozesse.