Gebraucht LAM RESEARCH Exelan A6 #9090420 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9090420
Wafergröße: 8"
Dual frequency oxide chamber, 8"
Plasma Monitoring, 27/2 MHz
(1) 8" Chamber
Osaka Helical Groove Vacuum Turbo Pump & Controller Model TS443EN
ENI Dual Frequency RF Generator Model OB1-03, and Match set
RF output 2.5kW @1.8 MHz and 10kW max at 27MHz
HP Vectra Xu 6/200 computer with Lam Exelan Software
RF
Gas box
Plasma monitoring system upgrade included:
BICEP Monitor
BIAS Monitor
Polarity RVS
Polarity RVS RTN
Esc set point
Esc monitor
Missing:
6" Right-angle valve
Controller for the helical-groove-pump.
LAM RESEARCH Exelan A6 ist eine Ätz-/Aschereinrichtung, die für die Serienproduktion hochwertiger geätzter Mikrostrukturen entwickelt wurde. Es ist eine wirtschaftliche und zuverlässige Lösung für Hersteller aufgrund seiner Fähigkeit, Standardprozessmodule unterzubringen, die für mehrere Prozesse wie Deep Reactive Ion Etching (DRIE), Bosch Process und Nassätzen leicht umkonfiguriert werden können. Exelan A6 verfügt über eine Vollmetallkonstruktion mit abnehmbaren Kammern, die in einem strengen Sicherheitsgehäuse eingeschlossen sind. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Exelan A6 über eine proprietäre Softwareschnittstelle, mit der Anwender die Geräte schnell und präzise für eine Vielzahl von Parametern konfigurieren können. Die Hauptmerkmale von Exelan A6 sind eingebaute Sicherheitsmechanismen, die Druck, Temperatur und Timing steuern. Druck, Temperatur und Timing können durch die dedizierte Software geregelt werden, was das Risiko von Beschädigungen von Komponenten reduziert. Darüber hinaus verfügt das System über drei redundante Fördersysteme, drei unabhängige Laser und drei separate Druckbehälter, die ein effizientes Ätzen mehrerer Schichten mit verschiedenen Arten von Ätzgasen ermöglichen. LAM RESEARCH Exelan A6 bietet auch automatische Ein-/Ausschaltfunktionen, Schwingungsdämpfung und einen Not-Aus-Knopf. Dies sorgt für maximale Sicherheit des Anwenders und der Pflanzenumgebung. Exelan A6 wurde entwickelt, um die Wahrscheinlichkeit von möglichen Schäden und Kontaminationen im Zusammenhang mit Substraten zu reduzieren. Es ist in der Lage, hochgenaue und zuverlässige Ergebnisse zu erzielen, während Chemikalien verwendet werden, die mit Substraten kompatibel sind, was die Qualität des Endprodukts gewährleistet. Darüber hinaus umfasst die Maschine auch automatisierte messtechnische Lösungen zur kontinuierlichen, leistungsarmen mikroskopischen Untersuchung geätzter Mikrostrukturen. Dadurch können Anwender die geätzten Strukturen überwachen und mögliche Fehler und Abweichungen vom gewünschten Ergebnis erkennen. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Exelan A6 über alle notwendigen Sicherheitsvorrichtungen, die den Benutzer vor potenziellen Gefahren wie Funken und Bränden schützen. Insgesamt ist Exelan A6 ein fortschrittliches, zuverlässiges und sicheres Werkzeug für die Ätz-/Ascherproduktion. Die eingebauten Sicherheitsmechanismen reduzieren das Risiko von Kontaminationen und Beschädigungen im Zusammenhang mit Substraten, während die eingebaute Hardware und Software schnelle, genaue und zuverlässige Ergebnisse ermöglichen. Darüber hinaus bieten automatisierte messtechnische Lösungen eine kontinuierliche Bewertung der geätzten Mikrostrukturen und gewährleisten so die gewünschte Qualität des Endprodukts. All diese Eigenschaften machen LAM RESEARCH Exelan A6 zu einer ausgezeichneten Wahl für Hersteller.
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