Gebraucht LAM RESEARCH Exelan Flex 45 #9157701 zu verkaufen

LAM RESEARCH Exelan Flex 45 ist ein Ätzer und Ascher zur Durchführung anwendungsspezifischer Ätz- und Ascheprozesse. Es basiert auf der zuverlässigen, vielseitigen Exelan Flex Platform, die nachweislich eine hervorragende Prozessleistung und Ausbeute für eine Reihe von Anwendungen bietet, einschließlich Photolithographie, Halbleiter und MEMS-Herstellung. Es nutzt fortschrittliche Prozesse und Technologien wie Wafer-Handling, Gleichmäßigkeit, hohe Präzision, fehlertolerantes Ätzen und HF- und SF-basiertes Aschen und bietet Ihnen die Flexibilität, höhere Erträge bei geringeren Kosten zu erzielen. Es bietet auch eine Reihe von automatisierten Funktionen für einfache Bedienung und Überwachung, wie Temperaturregelung, Prozessüberwachung, Substratüberwachung, manuelle Steuerung und Diagnose, bietet Ihnen mehr Daten und Kontrolle. Die Flex 45 verfügt über eine Prozesskammer aus 304L Edelstahl mit einer maximalen Kammergröße von 450 x 450 x 500mm, so dass sie größere Substrate und Prozessscheiben bis 300 mm aufnehmen kann. Es enthält eine auf Kohlendioxid (CO2) basierende Prozessgasabgabeeinrichtung, die eine Kombination aus Mikrowelle und heißem Plasma verwendet, um Ionenstrahlen hoher Dichte für eine verbesserte Selektivität zu erzeugen, und zwei Gasmischer für die Abgabe von Vorläufer- und Ätzgasen. Ein eingebauter ECR-Ätzer ist ebenfalls vorhanden, der eine hohe Ätzselektivität bei außergewöhnlich geringem Leckstrom erreichen kann. Darüber hinaus bietet es eine Plasmabehandlung vor oder nach einem Ätzprozess und ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu handhaben. Der Flex 45 ist eine kostengünstige 24/7-Wafer-Verarbeitungsplattform, die Gleichmäßigkeit, einheitliche Foliengleichförmigkeit und beheizte Lastschlösser und Düsenstationen bietet und es Ihnen ermöglicht, Wafertypen und Gasmischungen bei minimalen Ausfallzeiten schnell zu wechseln. Die Prozesssoftware wurde entwickelt, um Ihre spezifischen Anwendungsanforderungen zu erfüllen, mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI), die eine einfache Parametereinstellung und Systemsteuerung ermöglicht. Das Gerät ist modular aufgebaut und kann für andere Anwendungen wie Oxid-, Nitrid- und Silicon-on-isolator (SOI) -Verarbeitung sowie Abscheide- und Back-End-Prozesse konfiguriert werden. Es bietet auch optionale Geräte wie plasma- oder lichtverbesserte Prozesse und eine integrierte optische Inspektionsmaschine. Exelan Flex 45 ist perfekt für Halbleiter- und MEMS-Anwendungen, die präzise Ätz- und Ascheprozesse erfordern. Seine fortschrittlichen Funktionen und benutzerfreundliche Software machen es einfach zu bedienen und bieten gleichzeitig die Flexibilität und Leistung, um die Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiter- und MEMS-Anwendungen zu erfüllen. Es ist der ideale Ätzer/Ascher, um maximale Erträge zu einem kostengünstigen Preis zu erzielen.