Gebraucht LAM RESEARCH Exelan #293614971 zu verkaufen

LAM RESEARCH Exelan ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung. Es handelt sich um einen Einkammer-Ascher mit einem hochmodernen Regler, der eine ausgezeichnete Präzision, Wiederholgenauigkeit und Zuverlässigkeit in allen Abscheidungsanwendungen bietet. Exelan ist in der Lage, mehrere Substrate gleichzeitig mit einer Vielzahl von Chemikalien und Ätzchemikalien zu ätzen und zu aschen. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH Exelan mit einer Prozesskammer ausgestattet, die Sicherheit, Materialeffizienz und Kosteneinsparungen maximiert. Exelan wurde entwickelt, um eine breite Palette von Materialien wie Metalle, Verbindungshalbleiter, Polymere und Kohlenstoff-Nanoröhren zu ätzen und zu aschen. Dies macht es ideal für Anwendungen, die schnelle Umlaufzeiten erfordern, da es auch bei begrenzter Probengröße einheitliche Ergebnisse erzielen kann. Der Controller von LAM RESEARCH Exelan ist so konzipiert, dass er Flexibilität in Prozessparametereinstellungen ermöglicht und für Kundenforschung und -entwicklungsanwendungen geeignet ist. Die Maschine verfügt über eine automatische Kammerreinigung, die Bürstenwäsche für effektive Oberflächenreinheit und Kammerpflege verwendet. Ergänzt wird dies durch automatische Spülung und Entlüftung, die die Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Prozesse erhöht. Es verfügt auch über ein Stickstoffüberholungssystem, das die Partikelverunreinigung minimiert, was bei Anwendungen von Vorteil ist, bei denen eine Oberflächenverschmutzung nachteilig sein kann. Um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten, verfügt Exelan über eine Explosionserkennungseinheit. Diese Maschine eignet sich besonders für die Herstellung von Halbleiterscheiben, da sie das Risiko einer explosiven Reaktion durch die Überwachung von Gasen in der Kammer verringern kann, bevor die Halbleiterscheiben ihnen ausgesetzt werden. LAM RESEARCH Exelan verfügt über eine hermetisch abgedichtete Prozesskammer, die die Wahrscheinlichkeit einer Partikelverunreinigung minimiert, während die Kammer so ausgelegt wurde, dass die Chance eines Prozessausfalls reduziert wird. Insgesamt ist Exelan ein effizienter und zuverlässiger Ätzer und Ascher, der eine ausgezeichnete Präzision und Wiederholbarkeit in allen Abscheidungsprozessen gewährleistet. Der fortschrittliche Controller, das automatische Kammerreinigungswerkzeug, das Stickstoffüberholungsgerät und das Explosionserkennungsmodell sorgen dafür, dass die Ausrüstung sichere Arbeitsbedingungen aufrechterhält, während die hermetisch abgedichtete Prozesskammer maximale Sicherheit und Zuverlässigkeit für die Waferproduktion gewährleistet.