Gebraucht LAM RESEARCH Exelan #293615013 zu verkaufen

LAM RESEARCH Exelan ist ein Ätzer/Ascher zur präzisen Kontrolle von Ätzraten und Gleichmäßigkeit. Die Ätzkammermerkmale sind groß genug, um bis zu 8-Zoll-Wafer zu bearbeiten. Exelan ist in der Lage, sich an eine Vielzahl von Substraten wie Silizium, Quarz und andere anzupassen. LAM RESEARCH Exelan verfügt über eine einfache Prozesssteuerungsschnittstelle, die eine automatisierte Verarbeitung ermöglicht. Es verwendet einen leistungsstarken Prozesssteuerungsalgorithmus, um eine schnellere Rampenrate und eine genaue Ätzratenkontrolle zu ermöglichen. Es verfügt über maßgeschneiderte Hardware, die eine breite Palette von Ätzprozessrezepten unterstützt und eine präzise Ätzsteuerung für jedes Substrat ermöglicht. Exelans Vakuumsystem auf Plattformebene nutzt eine Doppeldiffusionspumpenkonfiguration, um ein hohes Vakuumniveau bereitzustellen. Es verfügt über einen eigenen Mikrocontroller und eine laserbasierte Rückkopplungsschleife zur Steuerung des Kammerdrucks zur Verringerung der Partikelverschmutzung. Der Ätzer unterstützt eine Reihe von Produktions-Workflow-Systemen. Es ist auch mit Sicherheitsmechanismen ausgestattet, die ätzbedingte Vakuumdruckschwankungen begrenzen und die Sicherheit des Bedieners und der Ausrüstung gewährleisten. LAM RESEARCH Exelan Einheit ist konfiguriert, um mit der Chemikalie der Wahl verwendet werden. Es verfügt über zwei Füll- und Leeröffnungen, wo die trockenen Chemikalien aufgenommen und die verwendeten Chemikalien entfernt werden können. Es enthält auch eine Vakuumabgasöffnung, um die gasförmigen Produkte des Ätzprozesses sicher zu entfernen. Exelan ist eine zuverlässige und zuverlässige Ätzmaschine, die ein hochauflösendes Ätzprofil liefert. Es wurde entwickelt, um plattformübergreifende Kompatibilität zu bieten und ermöglicht es Benutzern, mit minimalem Aufwand zwischen verschiedenen Herstellern zu wechseln. Es verwendet eine fortschrittliche Pitch-Catch-Ätzsteuerungsstrategie, die die Ungleichmäßigkeit der Ätztiefe minimiert und ein konstant genaues Ätzergebnis gewährleistet. LAM RESEARCH Exelan ist ein zeit- und kosteneffizientes Ätzwerkzeug, das wiederholbare und qualitativ hochwertige Ergebnisse liefern kann. Es ist ideal für eine Vielzahl von Ätzanwendungen wie MEMS, hohes Seitenverhältnis, eingebettete rückseitige Ätzung und vieles mehr. Es bietet Flexibilität und niedrige Betriebskosten, was es zu einer idealen Wahl für industrielle und akademische Einrichtungen macht.